Застосування багатокомпонентних катодів, отриманих електронно-променевим плавленням, для формування надтвердих нанокомпозитних покриттів
Ключові слова:
вакуумно-дуговий метод осадження, електронно-променеве плавлення, катод, нанокомпозитні покриття
Анотація
Викладені методи формування і результати застосування багатокомпонентних катодів, отриманих електронно-променевим плавленням для формування надтвердих покриттів на основі Zr, Ti, Si і N та Ti, Hf, Si і N способом вакуумно-дугового осадження. Досліджено відповідність елементного складу синтезованих покриттів складу розпиленого катоду.
Завантаження
##plugins.generic.usageStats.noStats##
Посилання
Патон Б., Тригуб Н., Козлитин Д. Электронно-лучевая плавка. – К.: Наукова думка, 1997. – 264 с.
Быковский Ю.А., Неволин В.Н. Лазерная масс-спектроскопия. – М.: Энергоатомиздат, 1985. – 128 с.
Ажажа В.М., Вьюгов П.Н., Лавриненко С.Д., Пилипенко Н.Н., Болков А.Ф., Лахов А.М., Линдт К.А., Мухачев А.Л., Попов В.И. Электронно-лучевая плавка титана, циркония и гафния//ВАНТ, Серия: Физика радиационных повреждений и радиационное материаловедение. – 2002. – № 6 (82). – С. 95-99.
Погребняк А.Д., Шпак А.П., Береснев В.М., Стехиометрия, фазовый состав и свойства сверхтвердых наноструктурных пленок Ti-HfSi-N, полученных с помощью вакуумно-дугового источника в высокочастотном разряде//ПЖТФ. – 2011. – Т. 37, № 13. – С. 91-97.
Yushkov G., Anders A., Oks E.M., Brown I.G. Ion velocities in vacuum arc plasmas//J. of Appl. Phys. – 2000. – Vol. 88, No. 10. – P. 5618-5622.
Береснев В.М., Погребняк А.Д., Соболь О.В., Грудницкий В.В., Маликов Л.В. Получение методом вакуумно-дугового осаждения и исследование структурно-фазового состояния пленок (Ti-Hf-Si)N//Матер. 4-ой Междунар. науч. конф. “Физико-химические основы формирования и модификации микрои наноструктур, ФММН’2010”. (Харьков, Украина). – 2010. – С. 500-502.
Ho C.Y., Powel R.W., Liley P.E. Thermal Conductivity of the Elements//J. Phys. Chem. Ref. Data. – 1972. – Vol. 1, No. 2. – P. 279-421.
Быковский Ю.А., Неволин В.Н. Лазерная масс-спектроскопия. – М.: Энергоатомиздат, 1985. – 128 с.
Ажажа В.М., Вьюгов П.Н., Лавриненко С.Д., Пилипенко Н.Н., Болков А.Ф., Лахов А.М., Линдт К.А., Мухачев А.Л., Попов В.И. Электронно-лучевая плавка титана, циркония и гафния//ВАНТ, Серия: Физика радиационных повреждений и радиационное материаловедение. – 2002. – № 6 (82). – С. 95-99.
Погребняк А.Д., Шпак А.П., Береснев В.М., Стехиометрия, фазовый состав и свойства сверхтвердых наноструктурных пленок Ti-HfSi-N, полученных с помощью вакуумно-дугового источника в высокочастотном разряде//ПЖТФ. – 2011. – Т. 37, № 13. – С. 91-97.
Yushkov G., Anders A., Oks E.M., Brown I.G. Ion velocities in vacuum arc plasmas//J. of Appl. Phys. – 2000. – Vol. 88, No. 10. – P. 5618-5622.
Береснев В.М., Погребняк А.Д., Соболь О.В., Грудницкий В.В., Маликов Л.В. Получение методом вакуумно-дугового осаждения и исследование структурно-фазового состояния пленок (Ti-Hf-Si)N//Матер. 4-ой Междунар. науч. конф. “Физико-химические основы формирования и модификации микрои наноструктур, ФММН’2010”. (Харьков, Украина). – 2010. – С. 500-502.
Ho C.Y., Powel R.W., Liley P.E. Thermal Conductivity of the Elements//J. Phys. Chem. Ref. Data. – 1972. – Vol. 1, No. 2. – P. 279-421.
Опубліковано
2017-07-28
Як цитувати
Береснев, В. М., Турбин, П. В., Грудницкий, В. В., Торяник, И. Н., Дмитренко, А. Е., Кропотов, А. Ю., Гриценко, В. И., Маликов, Л. В., & Гранкин, С. С. (2017). Застосування багатокомпонентних катодів, отриманих електронно-променевим плавленням, для формування надтвердих нанокомпозитних покриттів. Журнал фізики та інженерії поверхні, 11(2), 204 - 211. вилучено із https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/8773
Розділ
Статті
У відповідності з типовим шаблоном.
