Використання детермінованих властивостей шорсткості поверхні у вимірі геометричної форми об’єкту
Ключові слова:
поверхня, шорсткість, дифракційні грати, когерентне випромінювання
Анотація
Проведена класифікація поверхонь за типом шорсткостей. Шорсткість залежно від методу виникнення може мати детермінований, стохастичний або хаотичний характер. У роботі вирішено завдання знаходження вектора нормалі до поверхні і координати точки освітлення променем лазера для випадку апроксимації шорсткості плоскими відбивними дифракційними гратками.
Завантаження
Посилання
Dzubenko M.I., Kolpakov S.N., Popov I.V., Pryyomko A.A. Diffraction of coherent radiation on surfaces having non Gaussian statistics of roughness//Radiophysics and electronics. − Vol.17, № 4. − P. 92-97.
Nasarov V.N., Lin‘kov A.E. Diffraction methods of control of geometric parameters and spatial positioning of objects//Optical magazine. − 2002. − Vol. 69, № 2. − P. 76-81.
Born M., Vol‘f E. Basis of optics. − M.: Science, 1970.
Borovikov V.A., Kinber B.E. Geometric theory of diffraction. − M.: Communication, 1978. − 247 p.
Vinogradova M.B., Rudenko O.V., Suhorukov A.P. Theory of waves. – M.: Science, 1979. – 384 p.
Volkov V.V. et al. Measuring of dimensions of integrated circuits taking into account real profile of etching by diffraction pattern//Microelectronics. – 1984. – Vol.13, ed.1. – P. 64-72.
Shestopalov V.P., Kirilenko A.A., Masalov S.A., Sirenko Yu.K. Resonant scattering of waves. V. 1. Diffraction gratins. − K.: Scientific mind, 1986. – 232 p.
Andrenko S.D., Evdokimov A.P., Sidorenko Yu.B., Shestopalov V.P. Features of scattering of waves from skew grating. − Kharkiv: AS USSR Preprint №244, 1984. – 40 p.
Lahno V.I., Priyomko A.A. Speckle method of measuring of configuration of industrial products //Col. Of Sci. Articles KhStTURE. – 1999. – Vol. 1. – P. 105-108.
Korn G., Korn T. Reference book on mathematics. – M.: Science, 1984. – 831 p.
Nasarov V.N., Lin‘kov A.E. Diffraction methods of control of geometric parameters and spatial positioning of objects//Optical magazine. − 2002. − Vol. 69, № 2. − P. 76-81.
Born M., Vol‘f E. Basis of optics. − M.: Science, 1970.
Borovikov V.A., Kinber B.E. Geometric theory of diffraction. − M.: Communication, 1978. − 247 p.
Vinogradova M.B., Rudenko O.V., Suhorukov A.P. Theory of waves. – M.: Science, 1979. – 384 p.
Volkov V.V. et al. Measuring of dimensions of integrated circuits taking into account real profile of etching by diffraction pattern//Microelectronics. – 1984. – Vol.13, ed.1. – P. 64-72.
Shestopalov V.P., Kirilenko A.A., Masalov S.A., Sirenko Yu.K. Resonant scattering of waves. V. 1. Diffraction gratins. − K.: Scientific mind, 1986. – 232 p.
Andrenko S.D., Evdokimov A.P., Sidorenko Yu.B., Shestopalov V.P. Features of scattering of waves from skew grating. − Kharkiv: AS USSR Preprint №244, 1984. – 40 p.
Lahno V.I., Priyomko A.A. Speckle method of measuring of configuration of industrial products //Col. Of Sci. Articles KhStTURE. – 1999. – Vol. 1. – P. 105-108.
Korn G., Korn T. Reference book on mathematics. – M.: Science, 1984. – 831 p.
Опубліковано
2017-07-21
Як цитувати
Dzubenko, M. I., Kolpakov, S. N., Popov, I. V., & Pryyomko, A. A. (2017). Використання детермінованих властивостей шорсткості поверхні у вимірі геометричної форми об’єкту. Журнал фізики та інженерії поверхні, 11(3), 254 - 259. вилучено із https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/8755
Розділ
Статті
У відповідності з типовим шаблоном.
