Полищук, А. В., Харьковский национальный университет радиоэлектроники, Ukraine
-
Journal of Surface Physics and Engineering Vol. 13 No. 2 (2015): Фізична інженерія поверхні - Статті
СВЧ высоколокальный сканирующий разогрев в технологии микро- и наноэлектроники
Abstract PDF (Українська)