Застосування багатокомпонентних катодів, отриманих електронно-променевим плавленням, для формування надтвердих нанокомпозитних покриттів
Ключові слова:
вакуумно-дуговий метод осадження, електронно-променеве плавлення, катод, нанокомпозитні покриттяАнотація
Викладені методи формування і результати застосування багатокомпонентних катодів, отриманих електронно-променевим плавленням для формування надтвердих покриттів на основі Zr, Ti, Si і N та Ti, Hf, Si і N способом вакуумно-дугового осадження. Досліджено відповідність елементного складу синтезованих покриттів складу розпиленого катоду.
Завантаження
Опубліковано
2017-07-28
Номер
Розділ
Статті
Ліцензія
У відповідності з типовим шаблоном.Як цитувати
Застосування багатокомпонентних катодів, отриманих електронно-променевим плавленням, для формування надтвердих нанокомпозитних покриттів. (2017). Журнал фізики та інженерії поверхні, 11(2), 204-211. https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/8773