Распределение элементов по глубине многокомпонентных покрытий на основе системы (Ti-Al-Zr-Nb-Y)N

  • П. В. Турбин Научный физико-технологический центр МОН и НАН Украины

Анотація

Покрытия на основе системы (Ti-Al-Zr-Nb-Y)N формировались распылением многокомпонентного катода вакуумно-дуговым методом. Исследование распределения образующих элементов и примесей по глубине осуществлялось методом энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии. Установлена определенная неравномерность распределения образующих элементов по глубине покрытия и присутствие примесей, обусловленных методом и средой формирования, а также структурой катода.

Завантаження

##plugins.generic.usageStats.noStats##

Біографія автора

П. В. Турбин, Научный физико-технологический центр МОН и НАН Украины
к. ф.-м. н., заст. директора

Посилання

1. Азаренков Н. А., Соболь О. В., Береснев В. М., Погребняк А. Д., Колесников Д. А., Турбин П. В., Торяник И. Н. Вакуумно-плазменные покрытия на основе многокомпонентных нитридов // Металлофизика и новейшие технологии. — 2013. — Т. 35, № 8. — С. 1061—1084.

2. Blinkov I. V., Volkhonskii A. O., AnikinV. N., Petrzhik M. I., Derevtsova D. E. Phase composition and properties of wear resistant Ti-Al-Cr-Zr-Nb-N coatings manufactured by the arc-physical deposition method // Inorganic Materials: Applied Research. — 2011. — Vol. 2, No. 3. — P. 261—267.

3. Beresnev V. M., Sobol O. V., Toryanik I. N., Meylekhov A. A., Nyemchenko U. S., Turbin P. V., Yakushchenko I. V., Lisovenko M. O. Formation of Biphasic State in Vacuum-Arc Coatings Obtained by Evaporation of Ti-Al-Zr-Nb-Y Alloy in the Atmosphere of Nitrogen // J. Nano- Electron. Phys. — 2014. Vol. 6, No. 1. — P. 01030.

4. Braic V., Vladescu A., Balaceanu M., Luculescu .R., Braic M. Nanostructured multi-element (TiZrNbHfTa)N and (TiZrNbHfTa)C hard coatings // Surf. Coat. Technol. — 2011. — Vol. 211, 25. — P. 117—121.

5. Hasegawa H., Suzuki T. Effects of second metal contents on microstructure and micro-hardness of ternary nitride films synthesized by cathodic arc method // Surf. Coat. Technol. — 2004. — Vol. 188—189. — P. 234—240.

6. Торяник И. Н., Береснев В. М., Немченко У. С., Колесников Д. А., Турбин П. В., Гранкин С. С., Береснева Е. В., Ганенко В. В. Многоэлементные покрытия (Zr-Ti-Al-Nb-Y)N, полученные вакуумно-дуговым осаждением // ФИП. — 2013. — Т. 11, № 4. — С. 420—426.7. Самсонов Г. В., Виницкий И. М. Тугоплавкие соединения (справочник), 2-е изд. // М.: «Металлугрия», 1976. — 560 с.
Опубліковано
2015-04-27
Як цитувати
Турбин, П. В. (2015). Распределение элементов по глубине многокомпонентных покрытий на основе системы (Ti-Al-Zr-Nb-Y)N. Журнал фізики та інженерії поверхні, 12(4), 556-563. вилучено із https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/1486