Особливості застосування рентгенівської фотоелектронної спектроскопії для визначення товщини ультратонких плівок

Автор(и)

  • А. Н. Стервоедов Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
  • В. М. Береснев Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна
  • Н. В. Сергеева Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна

Ключові слова:

рентгенівська фотоелектронна спектроскопія (РФЕС); ультратонкі плівки, вимірювання товщини; нітрид титану

Анотація

У роботі на прикладі вимірювання параметрів ультратонких (3 – 5 нм) TiNx плівок показана можливість використання рентгенівської фотоелектронної спектроскопії для визначення товщини і суцільності плівок нанорозмірної товщини. Плівки TiNx були отримані на кремнії методом слаботочного іонно-променевого розпилення титанової мішені в атмосфері азоту. Показано переваги методу РФЕС в порівнянні з іншими поширеними методами дослідження поверхні твердого тіла, описана методика вимірювання товщини ультратонких плівок.

Біографії авторів

  • автор А. Н. Стервоедов, афіліація Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України

    Вчений, к. т. н.

  • автор В. М. Береснев, афіліація Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна

    Професор, д. т. н.

  • автор Н. В. Сергеева, афіліація Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна

    Вчений

Завантаження

Опубліковано

2019-07-26

Номер

Том 8 № 1 (2010): Фізична інженерія поверхні

Розділ

Статті

Ліцензія

У відповідності з типовим шаблоном.

Як цитувати

Особливості застосування рентгенівської фотоелектронної спектроскопії для визначення товщини ультратонких плівок. (2019). Журнал фізики та інженерії поверхні, 8(1), 88-92. https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/13455

Статті цього автора (цих авторів), які найбільше читають