Вплив дефектів і примісних атомів на фізико-механічні властивості наноструктурних покриттів в області границь їх розділу
Ключові слова:
наноструктурні покриття, фазовий та елементний склад, адгезія, над твердість, дефекти, сегрегація, напруженняАнотація
За допомогою унікальних методів: анігіляції позитронів, мікропучка протонів, Резерфордівського оберненого розсіювання (RBS) іонів, мікроаналіза за допомогою EDSX разом із SEM, дифракції рентгенівських променів (XRD), рентгенівської тензометрії (α-sin2ψ), тестів на нанотвердість, модуль пружності, індекса пластичності та скретч-тестів були досліджені наноструктурні покриття Ti-Si-N; Ti-Hf-Si-N; (Ti-Hf-Zr-V-Nb)N, вирощені катодним вакуумно-дуговим джерелом. Були отримані профілі дефектів по товщі покриттів, та досліджений вплив термічного відпалювання до 600 °С (30 хв) на зміну дефектної структури, пружньо-фазового стану, фазового складу та перерозподілу домішкових атомів в результаті термодифузії та процесів сегрегації по межам та субмежам нанозерен. Знайдено збільшення твердості після відпалювання, зменшення величини пружньо-деформаційного стану, перерозподіл атомів та дефектів.
