Порівняльний аналіз різних джерел плазми для цілей реактивного нанесення покриттів і дифузійного насичення металів
Ключові слова:
вакуум-плазмові технології, реактивне нанесення покриттів, іонно-плазмове дифузійне модифікування поверхні металів
Анотація
Виконано зондові вимірювання параметрів різних джерел технологічної плазми, що використовуються в вакуум-плазмових технологіях при реактивному нанесенні покриттів і дифузійному насиченні металів. Проведено порівняльний аналіз плазмових джерел магнетронного й вакуум-дугового розрядів, що використовуються в процесах реактивного нанесення функціональних покриттів, та плазмових джерел тліючого розряду й подвійного дугового розряду, що використовуються для очищення поверхні і іонного насичення. Розглянуто особливості за стосування різних плазмових джерел для підвищення стабільності і керованості процесів на пилення і отримання якісних покриттівЗавантаження
##plugins.generic.usageStats.noStats##
Посилання
Сагалович О. В. Установка Avinit для нанесен ня багатошарових функціональних покриттів / [О. В. Сагалович, В. В. Сагалович, В. В. Попов та ін.] // Физическая инженерия поверхности. — 2010. — Т. 8. — С. 336—347.
Сагалович А. В. Исследование вакуумплаз менных технологий в создании ТОТЭ на основе цератов бария / [А. В. Сагалович, В. В. Сагалович, Ю. Н. Клещев и др.] — Proceedings Int. Symp. SOFC, ed. S. C. Singhal ea, Japan, 1997. — P. 7—17.
Сагалович А. В. Конструкционные материалы с покрытиями для технологического оборудования / [А. В. Сагалович, В. В. Сагалович, И. И. Залюбовский и др.] // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. Одесса. — 2001. — Т. 3. — С. 49—52.
Сагалович А. В. Использование методов вакуум-плазменного осаждения покрытий для получения тонкопленочных топливных элементов / А. В. Сагалович, В. В. Сагалович, Ю. Н. Клещев // Сб. научно-техн. статей. Изд. РФЯЦ — ВНИИТФ, Снежинск, Россия, 2003. — С. 77—87.
Сагалович А. В. Нанотехнологии — промышленные технологии ХХI века / А. В. Сагалович, В. В. Сагалович // Оборудование и инструмент. — 2005. —Т. 6. — С. 46—49.
Сагалович А. В. Разработка многокомпонентных покрытий для повышения износостойкости поверхностей пар трения в прецизионных узлах / [А. В. Сагалович, В. В. Сагалович, C. Ф. Дудник и др.] // Физическая инженерия поверхности. — 2007. — Т. 5, № 3—4. — С. 154—165.
Сагалович А. В. Экспериментальные исследования покрытий типа Avinit / [А. В. Сагалович, В. В. Сагалович, В. В. Попов и др.] // Авиационно-космическая техника и технология. Технология производства летательных аппаратов. — 2011. — Т. 1. — С. 5—15.
Sagalovych A. The Tribological Investigation of Multicomponent Multilayered Ion-plas ma Coatings Avinit / [A. Sagalovych, V. Sa galovych, V. Popov ea] // Tribology in industry. — 2011. — Vol. 33, No. 1. — Р. 79—86.
Сагалович А. В. Нанесение покрытий на слож нопрофильные прецизионные по верхно сти газофазным методом (CVD) / [А. В. Сагалович, В. В. Сагалович, В. В. Попов и др.] // Физическая инженерия поверхно сти. — 2011. —Т. 9, № 3. — С. 229—236.
Сагалович О. В. Спосіб нанесення двохкомпонентних хром-алюмінієвих покриттів на внутрішні порожнини охолоджуємих робо чих лопаток газових турбін та Пристрій для нанесення двохкомпонентних хромалю мінієвих покриттів на внутрішні порожнини охолоджуємих робочих лопаток газових турбін / [О. В. Сагалович, В. В. Попов, В. О. Богуслаєв та ін.] // Pat. UА № 101764 від 25. 04. 13, Pat. RU № 011255 от 16. 04. 12.
Sagalovych A. Mo-C multilayered CVD co atings / [A. Sagalovych, V. Sagalovych] // Proc. 13 th Intern. Conf. on Tribology SER BI A TRIB’13. — Kragujevac. — Serbia. — 15— 17 May 2013.
Сагалович О. В. Спосіб іонно-плазмового пре цизійного азотування поверхонь сталей та сплавів Avinit N / [О. В. Сагалович, В. В. Сагалович] // Pat. UА № 84664 від 25. 10. 13.
Сагалович О. В. Багатошарове зносостійке покриття АВІНІТ C320 — ms1 для плоскої золотникової пари / [О. В. Сагалович, В. В. Сагалович, В. В. Попов, та ін.] // Pat. UA № 86087 від 10. 12. 13.
Сагалович А. В. Износостойкое антифрикционное покрытие деталей пар трения / [А. В. Са галович, В. В. Сагалович, В. В. Попов и др.] // Pat. RU № 141213 от 22. 04. 14.
Сагалович О. В. Композиційне покриття для алюмінію або його сплавів / [О. В. Сагалович, В. В. Сагалович] // Pat. UА № 89830 від 25. 04. 14.
Dudin S. V. Devices and techniquie of ex periment. — 1994. — No. 4. — P. 78—82.
McNeely P., Dudin S., Christ-Koch S. and Fantz U., Plasma Sources Sci. Technol., 18, (2009) 014011.
Сагалович А. В. Исследование вакуумплаз менных технологий в создании ТОТЭ на основе цератов бария / [А. В. Сагалович, В. В. Сагалович, Ю. Н. Клещев и др.] — Proceedings Int. Symp. SOFC, ed. S. C. Singhal ea, Japan, 1997. — P. 7—17.
Сагалович А. В. Конструкционные материалы с покрытиями для технологического оборудования / [А. В. Сагалович, В. В. Сагалович, И. И. Залюбовский и др.] // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. Одесса. — 2001. — Т. 3. — С. 49—52.
Сагалович А. В. Использование методов вакуум-плазменного осаждения покрытий для получения тонкопленочных топливных элементов / А. В. Сагалович, В. В. Сагалович, Ю. Н. Клещев // Сб. научно-техн. статей. Изд. РФЯЦ — ВНИИТФ, Снежинск, Россия, 2003. — С. 77—87.
Сагалович А. В. Нанотехнологии — промышленные технологии ХХI века / А. В. Сагалович, В. В. Сагалович // Оборудование и инструмент. — 2005. —Т. 6. — С. 46—49.
Сагалович А. В. Разработка многокомпонентных покрытий для повышения износостойкости поверхностей пар трения в прецизионных узлах / [А. В. Сагалович, В. В. Сагалович, C. Ф. Дудник и др.] // Физическая инженерия поверхности. — 2007. — Т. 5, № 3—4. — С. 154—165.
Сагалович А. В. Экспериментальные исследования покрытий типа Avinit / [А. В. Сагалович, В. В. Сагалович, В. В. Попов и др.] // Авиационно-космическая техника и технология. Технология производства летательных аппаратов. — 2011. — Т. 1. — С. 5—15.
Sagalovych A. The Tribological Investigation of Multicomponent Multilayered Ion-plas ma Coatings Avinit / [A. Sagalovych, V. Sa galovych, V. Popov ea] // Tribology in industry. — 2011. — Vol. 33, No. 1. — Р. 79—86.
Сагалович А. В. Нанесение покрытий на слож нопрофильные прецизионные по верхно сти газофазным методом (CVD) / [А. В. Сагалович, В. В. Сагалович, В. В. Попов и др.] // Физическая инженерия поверхно сти. — 2011. —Т. 9, № 3. — С. 229—236.
Сагалович О. В. Спосіб нанесення двохкомпонентних хром-алюмінієвих покриттів на внутрішні порожнини охолоджуємих робо чих лопаток газових турбін та Пристрій для нанесення двохкомпонентних хромалю мінієвих покриттів на внутрішні порожнини охолоджуємих робочих лопаток газових турбін / [О. В. Сагалович, В. В. Попов, В. О. Богуслаєв та ін.] // Pat. UА № 101764 від 25. 04. 13, Pat. RU № 011255 от 16. 04. 12.
Sagalovych A. Mo-C multilayered CVD co atings / [A. Sagalovych, V. Sagalovych] // Proc. 13 th Intern. Conf. on Tribology SER BI A TRIB’13. — Kragujevac. — Serbia. — 15— 17 May 2013.
Сагалович О. В. Спосіб іонно-плазмового пре цизійного азотування поверхонь сталей та сплавів Avinit N / [О. В. Сагалович, В. В. Сагалович] // Pat. UА № 84664 від 25. 10. 13.
Сагалович О. В. Багатошарове зносостійке покриття АВІНІТ C320 — ms1 для плоскої золотникової пари / [О. В. Сагалович, В. В. Сагалович, В. В. Попов, та ін.] // Pat. UA № 86087 від 10. 12. 13.
Сагалович А. В. Износостойкое антифрикционное покрытие деталей пар трения / [А. В. Са галович, В. В. Сагалович, В. В. Попов и др.] // Pat. RU № 141213 от 22. 04. 14.
Сагалович О. В. Композиційне покриття для алюмінію або його сплавів / [О. В. Сагалович, В. В. Сагалович] // Pat. UА № 89830 від 25. 04. 14.
Dudin S. V. Devices and techniquie of ex periment. — 1994. — No. 4. — P. 78—82.
McNeely P., Dudin S., Christ-Koch S. and Fantz U., Plasma Sources Sci. Technol., 18, (2009) 014011.
Опубліковано
2017-07-05
Як цитувати
Сагалович, А. В., Сагалович, В. В., Дудин, С. В., & Фареник, В. И. (2017). Порівняльний аналіз різних джерел плазми для цілей реактивного нанесення покриттів і дифузійного насичення металів. Журнал фізики та інженерії поверхні, 12(2), 285-298. вилучено із https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/8704
Розділ
Статті
У відповідності з типовим шаблоном.
