Порівняльний аналіз різних джерел плазми для цілей реактивного нанесення покриттів і дифузійного насичення металів

Автор(и)

  • А. В. Сагалович Научно-технический центр «Нанотехнология», Харьков
  • В. В. Сагалович Научно-технический центр «Нанотехнология», Харьков
  • С. В. Дудин Харківський національний університет імені В. Н. Каразіна image/svg+xml
  • В. И. Фареник Харьковский национальный университет имени В. Н. Каразина Научный физико-технологический центр, Харьков

Ключові слова:

вакуум-плазмові технології, реактивне нанесення покриттів, іонно-плазмове дифузійне модифікування поверхні металів

Анотація

Виконано зондові вимірювання параметрів різних джерел технологічної плазми, що використовуються в вакуум-плазмових технологіях при реактивному нанесенні покриттів і дифузійному насиченні металів. Проведено порівняльний аналіз плазмових джерел магнетронного й вакуум-дугового розрядів, що використовуються в процесах реактивного нанесення функціональних покриттів, та плазмових джерел тліючого розряду й подвійного дугового розряду, що використовуються для очищення поверхні і іонного насичення. Розглянуто особливості за  стосування різних плазмових джерел для підвищення стабільності і керованості процесів на  пилення і отримання якісних покриттів

Біографії авторів

  • автор А. В. Сагалович, афіліація Научно-технический центр «Нанотехнология», Харьков
    с.н.с.
  • автор В. В. Сагалович, афіліація Научно-технический центр «Нанотехнология», Харьков
    с.н.с.
  • автор С. В. Дудин, афіліація Харківський національний університет імені В. Н. Каразіна
    с.н.с.
  • автор В. И. Фареник, афіліація Харьковский национальный университет имени В. Н. Каразина Научный физико-технологический центр, Харьков
    с.н.с.

Завантаження

Опубліковано

2017-07-05

Номер

Том 12 № 2 (2014): Фізична інженерія поверхні

Розділ

Статті

Ліцензія

У відповідності з типовим шаблоном.

Як цитувати

Порівняльний аналіз різних джерел плазми для цілей реактивного нанесення покриттів і дифузійного насичення металів. (2017). Журнал фізики та інженерії поверхні, 12(2), 285-298. https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/8704

Статті цього автора (цих авторів), які найбільше читають