Вплив прискорюючої дії напруги імпульсного ВЧ генератора на властивості нанокомпозитних нітридних покриттів

Автор(и)

  • П. В. Турбін Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України, Харків

Ключові слова:

імпульсний ВЧ генератор, нанокомпозитні покриття, прискорююча напруга

Анотація

В короткому огляді на прикладі вивчення особливостей формування наноструктурованих вакуумно-дугових нітридних покриттів проаналізовано вплив дії імпульсного ВЧ генератора на властивості покриттів. Встановлено, що застосування імпульсного ВЧ генератора впливає на підвищенню якості нанокомпозитних покриттів за рахунок оптимізації розмірів кристалітів, сприяє зниженню вмісту крапельної складової та поліпшенню властивостей покриттів.

 

 

Біографія автора

  • автор П. В. Турбін, афіліація Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України, Харків
    с.н.с.

Завантаження

Опубліковано

2017-11-14

Номер

Том 2 № 2-3 (2017): Журнал фізики та інженерії поверхні

Розділ

Статті

Ліцензія

У відповідності з типовим шаблоном.

Як цитувати

Вплив прискорюючої дії напруги імпульсного ВЧ генератора на властивості нанокомпозитних нітридних покриттів. (2017). Журнал фізики та інженерії поверхні, 2(2-3), 86-98. https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/9571

Статті цього автора (цих авторів), які найбільше читають