Вплив прискорюючої дії напруги імпульсного ВЧ генератора на властивості нанокомпозитних нітридних покриттів
Ключові слова:
імпульсний ВЧ генератор, нанокомпозитні покриття, прискорююча напруга
Анотація
В короткому огляді на прикладі вивчення особливостей формування наноструктурованих вакуумно-дугових нітридних покриттів проаналізовано вплив дії імпульсного ВЧ генератора на властивості покриттів. Встановлено, що застосування імпульсного ВЧ генератора впливає на підвищенню якості нанокомпозитних покриттів за рахунок оптимізації розмірів кристалітів, сприяє зниженню вмісту крапельної складової та поліпшенню властивостей покриттів.
Завантаження
##plugins.generic.usageStats.noStats##
Посилання
Гриценко В. И., Береснев В. М., Швец О. М. Использование ВЧ разряда в методе вакуумно-дугового осаждения покрытий // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 37–44.
Береснев В. М., Толок В. Т., Гриценко В. И., Демьяненко Ю. В, Чунадра А. Г. Получение соединения AlN, Al2O3 из потоков плазмы вакуумной дуги с использованием ВЧ напряжения // Вестник ХНУ, серия «Ядра, частицы, поля». — 2003. — Вып. (22),
№ 601. — С. 101–105.
Падалка В. Г., Гутник Г. Н., Аксенов И. И. и др. Опыт эксплуатации и повышение эффективности использования установок «Булат». Обзор. — М.: ЦНИИатоминформ, 1986. — 56 с.
Андреев А. A., Саблев Л. П., Григорьев С. Н. Вакуумно-дуговые покрытия. — Харьков: ННЦ ХФТИ, 2010. — 317 с.
Береснев В. М., Перлов Д. Л., Федоренко А. И. Экологически безопасные вакуумно-плазменное оборудование и технологии нанесения покрытий. — Харьков: ХИСПИ, 2003. — 292 с.
Beresnev V. M., Gritsenko V. I., Tolok V. T., Shvets O. M. Hight-frequency charged gas plasma activation of material surface in process of coating // Intern. Confеr. Modification of Properties of Surface Layers MPSL-93. — 1993. — Sumy (Ukraine). — Р. 44–45.
Пат. 2363 Украина, МКИ С23 С14/00/. Устройство для нанесения покрытий в вакууме / В. Т. Толок, О. М. Швец, В. Ф. Лымарь, В. М. Береснев, В. И. Гриценко, М. Г. Кривонос. — № 4824783/21. Заявлено 11.05.90; Опубл. 15.07.94. Бюл. № 13. — 10 с.
Береснев В. М., Швец О. М., Беляева Т. Н. Особенности ввода высокочастотной энергии в потоке плазмы // Физическая инженерия поверхности. — 2005. — Т. 3, № 1–2. — С. 71–73.
Швец О. М., Береснев В. М., Турбин П. В., Грудницкий В. В., Немченко У. С., Колесников Д. А. Применение импульсного ВЧ генератора с ударным контуром в методе вакуумно-дугового осаждения при синтезе наноструктурированных покрытий // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 1. — С. 32–39.
Демиденко И. И., Ломино Н. С., Овчаренко В. Д. и др. О механизме ионизации реакционного газа в вакуумно-дуговом разряде // ЖТФ. — 1984. — Т. 54, вып. 8. —
С. 1534–1538.
Погребняк А. Д., Шпак А. П., Береснев В. М., Кирик Г. В., Колесников Д. А., Комаров Ф. Ф., Конарский П., Махмудов Н. А., Каверин М. В., Грудницкий В. В. Стехиометрия, фазовый состав и свойства сверхтвердых наноструктурных пленок Ti-Hf-Si-N, полученных с помощью вакуумно-дугового источника в высокочастотном разряде // ПЖТФ. — 2011. — Т. 37, № 13. — С. 91–97.
Yushkov G. Yu., Anders A., Oks E. M., Brown I. G. Ion velocities in vacuum arc plasmas // Journal of Applied Physics. — 2000. — Vol. 88, No. 10. — P. 5618–5622.
Береснев В. М., Погребняк А. Д., Соболь О. В., Грудницкий В. В., Маликов Л. В. Получение методом вакуумно-дугового осаждения и исследование структурнофазового состояния пленок (Ti-Hf-Si)N // Материалы 4-ой Международной научной конференции «Физико-химические основы формирования и модификации микро- и наноструктур, ФММН’2010» [6–8 октября, 2010]. — Харьков, Украина. — С. 500–502.
Ho C. Y., Powel R. W., Liley P. E. Thermal Conductivity of the Elements // J. Phys. Chem. Ref. Data. — 1972. — Vol. 1, No. 2. — P. 279– 421.
Anders А. Cathodic Arcs. — New York; Springer Science + Business Media, 2008. — 540 p.
Аксенов И. И. Вакуумная дуга в эрозионных источниках плазмы. — Харьков: ННЦ «ХФТИ», 2005. — 212 с.
Турбин П. В. Эволюция морфологии поверхности покрытий (Ti-Hf-Si)N при термическом воздействии // Физическая инженерия поверхности. — 2015. — Т. 13, № 3. — С. 406–412.
Beresnev V. M., Klimenko S. A. Toryanik I. N., Pogrebnjak A. D., Sobol O. V., Turbin P. V., Grankin S. S. Superhard coatings of the (ZrTi-Si)N and (Ti-Hf-Si)N systems produced by vacuum-arc deposition from a separated flow // Journal of Superhard Materials. — 2014. — Vol. 36, No. 1. — P. 29–34.
Grudnitskiy V. V., Beresnev V. M., Drobyshevskaya А. А., Turbin P. V., Toryanik I. N., Grankin S. S., Kolesnikov D. А., Nemchenko U. S. Elemental and phase analysis of nanocomposite coatings on basis Ti-Hf-Si-N system received by the vacuum-arc deposition method // Physical surface engineering. — 2012. — Vol. 10, No. 3. — P. 286–294.
Береснев В. М., Соболь О. В., Погребняк А. Д., Литовченко С. В., Клименко С. А., Столбовой В. А., Сребнюк П. А., Манохин А. С., Ковалёва М. Г., Новиков В. Ю., Мейлехов А. А., Немченко У. С., Бармин А. Е., Турбин П. В. Структура и механические свойства вакуумно-дуговых покрытий системы TiAlSiY, осажденных в азотной атмосфере // Физика и химия обработки материалов. — 2017, № 2. — С. 34–43.
Sobol’ O. V., Andreev A. A., Grigoriev S. N., Gorban’ V. F., Volosova M. A., Aleshin S. V., Stolbovoi V. A. Effect of high-voltage pulses on the structure and properties of titanium nitride vacuum-arc coatings // Metal Science and Heat Treatment. — 2012. — Vol. 54, No. 3. — P. 195–203.
Береснев В. М., Толок В. Т., Гриценко В. И., Демьяненко Ю. В, Чунадра А. Г. Получение соединения AlN, Al2O3 из потоков плазмы вакуумной дуги с использованием ВЧ напряжения // Вестник ХНУ, серия «Ядра, частицы, поля». — 2003. — Вып. (22),
№ 601. — С. 101–105.
Падалка В. Г., Гутник Г. Н., Аксенов И. И. и др. Опыт эксплуатации и повышение эффективности использования установок «Булат». Обзор. — М.: ЦНИИатоминформ, 1986. — 56 с.
Андреев А. A., Саблев Л. П., Григорьев С. Н. Вакуумно-дуговые покрытия. — Харьков: ННЦ ХФТИ, 2010. — 317 с.
Береснев В. М., Перлов Д. Л., Федоренко А. И. Экологически безопасные вакуумно-плазменное оборудование и технологии нанесения покрытий. — Харьков: ХИСПИ, 2003. — 292 с.
Beresnev V. M., Gritsenko V. I., Tolok V. T., Shvets O. M. Hight-frequency charged gas plasma activation of material surface in process of coating // Intern. Confеr. Modification of Properties of Surface Layers MPSL-93. — 1993. — Sumy (Ukraine). — Р. 44–45.
Пат. 2363 Украина, МКИ С23 С14/00/. Устройство для нанесения покрытий в вакууме / В. Т. Толок, О. М. Швец, В. Ф. Лымарь, В. М. Береснев, В. И. Гриценко, М. Г. Кривонос. — № 4824783/21. Заявлено 11.05.90; Опубл. 15.07.94. Бюл. № 13. — 10 с.
Береснев В. М., Швец О. М., Беляева Т. Н. Особенности ввода высокочастотной энергии в потоке плазмы // Физическая инженерия поверхности. — 2005. — Т. 3, № 1–2. — С. 71–73.
Швец О. М., Береснев В. М., Турбин П. В., Грудницкий В. В., Немченко У. С., Колесников Д. А. Применение импульсного ВЧ генератора с ударным контуром в методе вакуумно-дугового осаждения при синтезе наноструктурированных покрытий // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 1. — С. 32–39.
Демиденко И. И., Ломино Н. С., Овчаренко В. Д. и др. О механизме ионизации реакционного газа в вакуумно-дуговом разряде // ЖТФ. — 1984. — Т. 54, вып. 8. —
С. 1534–1538.
Погребняк А. Д., Шпак А. П., Береснев В. М., Кирик Г. В., Колесников Д. А., Комаров Ф. Ф., Конарский П., Махмудов Н. А., Каверин М. В., Грудницкий В. В. Стехиометрия, фазовый состав и свойства сверхтвердых наноструктурных пленок Ti-Hf-Si-N, полученных с помощью вакуумно-дугового источника в высокочастотном разряде // ПЖТФ. — 2011. — Т. 37, № 13. — С. 91–97.
Yushkov G. Yu., Anders A., Oks E. M., Brown I. G. Ion velocities in vacuum arc plasmas // Journal of Applied Physics. — 2000. — Vol. 88, No. 10. — P. 5618–5622.
Береснев В. М., Погребняк А. Д., Соболь О. В., Грудницкий В. В., Маликов Л. В. Получение методом вакуумно-дугового осаждения и исследование структурнофазового состояния пленок (Ti-Hf-Si)N // Материалы 4-ой Международной научной конференции «Физико-химические основы формирования и модификации микро- и наноструктур, ФММН’2010» [6–8 октября, 2010]. — Харьков, Украина. — С. 500–502.
Ho C. Y., Powel R. W., Liley P. E. Thermal Conductivity of the Elements // J. Phys. Chem. Ref. Data. — 1972. — Vol. 1, No. 2. — P. 279– 421.
Anders А. Cathodic Arcs. — New York; Springer Science + Business Media, 2008. — 540 p.
Аксенов И. И. Вакуумная дуга в эрозионных источниках плазмы. — Харьков: ННЦ «ХФТИ», 2005. — 212 с.
Турбин П. В. Эволюция морфологии поверхности покрытий (Ti-Hf-Si)N при термическом воздействии // Физическая инженерия поверхности. — 2015. — Т. 13, № 3. — С. 406–412.
Beresnev V. M., Klimenko S. A. Toryanik I. N., Pogrebnjak A. D., Sobol O. V., Turbin P. V., Grankin S. S. Superhard coatings of the (ZrTi-Si)N and (Ti-Hf-Si)N systems produced by vacuum-arc deposition from a separated flow // Journal of Superhard Materials. — 2014. — Vol. 36, No. 1. — P. 29–34.
Grudnitskiy V. V., Beresnev V. M., Drobyshevskaya А. А., Turbin P. V., Toryanik I. N., Grankin S. S., Kolesnikov D. А., Nemchenko U. S. Elemental and phase analysis of nanocomposite coatings on basis Ti-Hf-Si-N system received by the vacuum-arc deposition method // Physical surface engineering. — 2012. — Vol. 10, No. 3. — P. 286–294.
Береснев В. М., Соболь О. В., Погребняк А. Д., Литовченко С. В., Клименко С. А., Столбовой В. А., Сребнюк П. А., Манохин А. С., Ковалёва М. Г., Новиков В. Ю., Мейлехов А. А., Немченко У. С., Бармин А. Е., Турбин П. В. Структура и механические свойства вакуумно-дуговых покрытий системы TiAlSiY, осажденных в азотной атмосфере // Физика и химия обработки материалов. — 2017, № 2. — С. 34–43.
Sobol’ O. V., Andreev A. A., Grigoriev S. N., Gorban’ V. F., Volosova M. A., Aleshin S. V., Stolbovoi V. A. Effect of high-voltage pulses on the structure and properties of titanium nitride vacuum-arc coatings // Metal Science and Heat Treatment. — 2012. — Vol. 54, No. 3. — P. 195–203.
Опубліковано
2017-11-14
Як цитувати
Турбін, П. В. (2017). Вплив прискорюючої дії напруги імпульсного ВЧ генератора на властивості нанокомпозитних нітридних покриттів. Журнал фізики та інженерії поверхні, 2(2-3), 86 - 98. вилучено із https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/9571
Розділ
Статті
У відповідності з типовим шаблоном.
