Особливості використання рентгенівського флуоресцентного аналізу для визначення складу вакуумно-дугових покриттів нітридів

Автор(и)

  • Е. Н. Решетняк Национальный научный центр “Харьковский физико-технический институт”

Ключові слова:

рентгенофлуоресцентний аналіз, характеристичне випромінювання, коефіцієнт поглинання, вакуумно-дугові покриття, елементний склад

Анотація

Розглянуто особливості застосування методу рентгенофлуоресцентного аналізу (РФА) для дослідження хімічного складу тонких покриттів багатокомпонентних нітридів. Показано, що розрахунок концентрації методом фундаментальних параметрів для товстих покриттів (10 мкм) досить точно дозволяє оцінювати співвідношення металевих компонентів. Використання такого розрахунку при аналізі тонких шарів у ряді випадків призводить до суттєвих помилок. Запропоновано спосіб введення поправки вагової концентрації на товщину покриття, яка дозволяє підвищити точність визначення складу. Представлені результати експериментів по визначенню елементного складу покриттів (Ti, Al) N методом РФА на спектрометрі “Спрут-ВМ”.

 

 

Біографія автора

  • автор Е. Н. Решетняк, афіліація Национальный научный центр “Харьковский физико-технический институт”
    с.н.с.

Завантаження

Опубліковано

2017-07-28

Номер

Том 11 № 4 (2013): Фізична інженерія поверхні

Розділ

Статті

Ліцензія

У відповідності з типовим шаблоном.

Як цитувати

Особливості використання рентгенівського флуоресцентного аналізу для визначення складу вакуумно-дугових покриттів нітридів. (2017). Журнал фізики та інженерії поверхні, 11(4), 318-325. https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/8859

Статті цього автора (цих авторів), які найбільше читають