Ріст, структура та оптичні властивості багатошарових рентгенівських дзеркал W/MG2Si
Ключові слова:
рентгенівська дифрактометрія, багатошарове рентгенівське дзеркало, магнетронне розпилення, силіцид магнію, вольфрамАнотація
Електронно-мікроскопічними та рентгенодифракційними методами досліджено структуру багатошарових рентгенівських дзеркал (БРД) W/Mg2Si. Показано, що підчас виготовлення БРД W/ Mg2Si спостерігається міжшарова взаємодія, в результаті якої формується змішана зона на границі Mg2Si-W з силіциду вольфраму. Встановлено, що склад змішаних зон залежить від товщини шарів, що складають період рентгенівського дзеркала. У БРД W/Mg2Si з періодом 3,1 нм формується змішана зона силіциду вольфраму з переважним вмістом кремнію: W3Si та/або W5Si3. У БРД з періодом 14,2 нм склад змішаної зони близький до WSi2. Щільність змішаних зон у БРД W/Mg2Si з періодами 3,1 нм та 14,2 нм складає 16,1 г/см3 та 8,2 г/см3 відповідно. Оцінені оптичні властивості БРД W/Mg2Si. Показано, що на довжині хвилі 9,89 нм відбивна здатність не оптимізованого по конструкції БРД W/Mg2Si знаходиться на рівні з оптимізованим БРД W/B4C.
