Еволюція морфології поверхні покриттів (Ti-Hf-Si)N за умов термічного впливу

Автор(и)

  • П. В. Турбин Научный физико-технологический центр МОН и НАН Украины, Харьковский национальный университет имени В. Н. Каразина

Ключові слова:

вакуумно-дугові покриття, морфологія поверхні, статистичні характеристики рельєфу, термічний вплив.

Анотація

Проаналізовано результати термічного впливу на зразки нанокомпозитного покриття (TiHf-Si)N. Виявлено зниження шорсткості покриття в результаті відпалювання та підвищення твердості до значення 55,7 ГПа. Еволюція морфології покриттів відбувається в результаті зміни структури поверхневих шарів і процесів рекристалізації. Вивчені статистичні характеристики рельєфу поверхні покриттів узгоджуються з експериментальними результатами. 

Біографія автора

  • автор П. В. Турбин, афіліація Научный физико-технологический центр МОН и НАН Украины, Харьковский национальный университет имени В. Н. Каразина
    С.н.с.

Завантаження

Опубліковано

2017-02-24

Номер

Том 13 № 3 (2015): Фізична інженерія поверхні

Розділ

Статті

Ліцензія

У відповідності з типовим шаблоном.

Як цитувати

Еволюція морфології поверхні покриттів (Ti-Hf-Si)N за умов термічного впливу. (2017). Журнал фізики та інженерії поверхні, 13(3), 399-405. https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/8034

Статті цього автора (цих авторів), які найбільше читають