От редколлегии

Автор(и)

  • В. И. Фареник Харьковский национальный университет имени В. Н. Каразина Научный физико-технологический центр МОН и НАН Украины

Анотація

К 40-летию начала исследований в области плазменных технологий в микроэлектронике на физико-техническом факультете Харьковского университета

Біографія автора

  • автор В. И. Фареник, афіліація Харьковский национальный университет имени В. Н. Каразина Научный физико-технологический центр МОН и НАН Украины
    К. ф.-м. н., с. н. с.

Завантаження

Опубліковано

2015-12-04

Статті цього автора (цих авторів), які найбільше читають