Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления

Автор(и)

  • А. В. Зыков Харківський національний університет імені В. Н. Каразіна image/svg+xml
  • С. В. Дудин Харківський національний університет імені В. Н. Каразіна image/svg+xml
  • С. Д. Яковин Харківський національний університет імені В. Н. Каразіна image/svg+xml

Анотація

Проведены экспериментальные исследования стационарных режимов, а также порогов погасания магнетронного разряда с управляемым по величине и топологии магнитным полем. Предложено объяснение полученных результатов на основании пространственноусредненной модели газового разряда с объемной ионизацией, адаптированной для магнетронного разряда.

Біографії авторів

  • автор А. В. Зыков, афіліація Харківський національний університет імені В. Н. Каразіна
    К. ф.-м. н., доц.
  • автор С. В. Дудин, афіліація Харківський національний університет імені В. Н. Каразіна
    К. ф.-м. н., доц.
  • автор С. Д. Яковин, афіліація Харківський національний університет імені В. Н. Каразіна
    К. ф.-м. н., с. н. с.

Завантаження

Опубліковано

2015-12-04

Номер

Том 13 № 2 (2015): Фізична інженерія поверхні

Розділ

Статті

Ліцензія

У відповідності з типовим шаблоном.

Як цитувати

Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления. (2015). Журнал фізики та інженерії поверхні, 13(2), 264 – 275. https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/4571

Статті цього автора (цих авторів), які найбільше читають