Закономерности формирования структуры и свойств пленок тугоплавких соединений
Анотація
Проведений аналіз формування плівкових покриттів на основі нитридів, карбідів і боридів перехідних металів залежно від умов синтезу. Виявлені загальні закономірності синтезу тонких плівок даного класу з’єднань - формування аксіальної текстури і стовпчастої структури. Проведений аналіз фізико-механічних характеристик нитридів, карбідів і боридів перехідних металів залежно від їх структурного стану. Показана залежність отримуваної структури від умов осадження покриттів, а також взаємозв’язок між структурою покриття і його фізико-механічними характеристиками.
Завантаження
Опубліковано
2015-06-22
Номер
Розділ
Статті
Ліцензія
У відповідності з типовим шаблоном.Як цитувати
Закономерности формирования структуры и свойств пленок тугоплавких соединений. (2015). Журнал фізики та інженерії поверхні, 12(3), 338-356. https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/2854