Распределение элементов по глубине многокомпонентных покрытий на основе системы (Ti-Al-Zr-Nb-Y)N

Автор(и)

  • П. В. Турбин Научный физико-технологический центр МОН и НАН Украины

Анотація

Покрытия на основе системы (Ti-Al-Zr-Nb-Y)N формировались распылением многокомпонентного катода вакуумно-дуговым методом. Исследование распределения образующих элементов и примесей по глубине осуществлялось методом энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии. Установлена определенная неравномерность распределения образующих элементов по глубине покрытия и присутствие примесей, обусловленных методом и средой формирования, а также структурой катода.

Біографія автора

  • автор П. В. Турбин, афіліація Научный физико-технологический центр МОН и НАН Украины
    к. ф.-м. н., заст. директора

Завантаження

Опубліковано

2015-04-27

Номер

Том 12 № 4 (2014): Фізична інженерія поверхні

Розділ

Статті

Ліцензія

У відповідності з типовим шаблоном.

Як цитувати

Распределение элементов по глубине многокомпонентных покрытий на основе системы (Ti-Al-Zr-Nb-Y)N. (2015). Журнал фізики та інженерії поверхні, 12(4), 556-563. https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/1486

Статті цього автора (цих авторів), які найбільше читають