Мікроструктура міжзеренних границь в полікристалічному кремнії та її вплив на перенесення носіїв заряду
Ключові слова:
полікристалічний кремній; мікроструктура; зерна; міжзернові границі; мікропорожнина; кисневовмісткі комплекси; домішки; поверхня; металеві або металоксидні плівки; хімічний елемент; сегрегації; питомий опірАнотація
Экспериментально исследованы микроструктура и морфология границ зерен поликристаллического кремния полученного разными способами. Поверхность зерен размером 100 – 300 мкм изобилует выступами и микропустотами размером ~10 мкм. На межзеренных границах имеются скопления примесей, определяющие совместно с зарядовыми состояниями ход температурной зависимости удельного сопротивления поликристаллического кремния.
Завантаження
Опубліковано
2019-07-25
Номер
Розділ
Статті
Ліцензія
У відповідності з типовим шаблоном.Як цитувати
Мікроструктура міжзеренних границь в полікристалічному кремнії та її вплив на перенесення носіїв заряду. (2019). Журнал фізики та інженерії поверхні, 8(1), 72-76. https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/13449
