Плівкові гнучкі ємнісні перетворювачі на основі структури ITO/поліімід/Al2O3

  • Л. В. Зайцева Національний технічний університет «Харківський політехнічний інститут», ВАТ «Турбоатом»
  • Г. С. Хрипунов Національний технічний університет «Харківський політехнічний інститут»
  • Р. В. Зайцев Національний технічний університет «Харківський політехнічний інститут»
  • А. Л. Хрипунова Національний технічний університет «Харківський політехнічний інститут»

Анотація

У статті розглянута ключова проблема безрідинного акустичного контролю металевих виробів та запропоноване новітнє рішення для дефектоскопії в умовах промислового виробництва. Основною особливістю рішення є використання тонкоплівкових гнучких ємнісних перетворювачів на основі структури ITO/поліімід/Al2O3 загальною товщиною не більше 20 мкм. На підставі проведеного дослідження структурних та електричних властивостей шарів такої структури визначені оптимальні умови їх отримання для максимально ефективного використання у якості ємнісних перетворювачів. Створено дослідний зразок тонкоплівкового ємнісного перетворювача для акустичного контролю металевих виробів на основі структури Al/ITO/поліімід/Al2O3.

Завантаження

##plugins.generic.usageStats.noStats##

Біографії авторів

Л. В. Зайцева, Національний технічний університет «Харківський політехнічний інститут», ВАТ «Турбоатом»
н. с.
Г. С. Хрипунов, Національний технічний університет «Харківський політехнічний інститут»
д. ф.-м. н., проф.
Р. В. Зайцев, Національний технічний університет «Харківський політехнічний інститут»
н. с.
А. Л. Хрипунова, Національний технічний університет «Харківський політехнічний інститут»
н. с.

Посилання

1. Патон Б. Є., Троїцький В. О., Посипай¬коЮ. М. Неруйнівний контроль в Україні // Інформ. бюл. Українського товариства неруйнівного контролю та технічної діагностики — 2003. — № 2(18). — С. 5—9.
2. Троицкий В. А. Краткое пособие по контролю качества сварных соединений — К.: ИЭС им. Е. О. Патона, 1997. — 224 с.
3. Білокур І. П. Акустичний контроль — К.: ІЗМН, 1997. — 224 с.
4. Неразрушающий контроль: справочник в 7т. / Под общ. ред. В. В. Клюева. — М.: Ма¬шиностроение, 2005. — 829 с.
5. Карпаш О. М. Неруйнівний контроль та технічна діагностика нафтогазового обладнан¬ня та інструменту // Методи та прилади контролю якості. — 1997. — № 1. — С. 22—24.
6. Уманский Я. С. Рентгенография металлов и полупроводников — М.: Металлургия. — 1969. — 496 с.
7. Батавин В. В., Концевой Ю. А., Федоро¬вич Ю. В. Измерение параметров полупро¬водниковых материалов и структур — М.: Радио и связь, 1985.
Опубліковано
2015-04-27
Як цитувати
Зайцева, Л. В., Хрипунов, Г. С., Зайцев, Р. В., & Хрипунова, А. Л. (2015). Плівкові гнучкі ємнісні перетворювачі на основі структури ITO/поліімід/Al2O3. Журнал фізики та інженерії поверхні, 12(4), 505-509. вилучено із https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/1479
Номер
Том 12 № 4 (2014): Фізична інженерія поверхні
Розділ
Статті
У відповідності з типовим шаблоном.