Плівкові гнучкі ємнісні перетворювачі на основі структури ITO/поліімід/Al2O3

Автор(и)

  • Л. В. Зайцева Національний технічний університет «Харківський політехнічний інститут», ВАТ «Турбоатом»
  • Г. С. Хрипунов Національний технічний університет «Харківський політехнічний інститут» image/svg+xml
  • Р. В. Зайцев Національний технічний університет «Харківський політехнічний інститут» image/svg+xml
  • А. Л. Хрипунова Національний технічний університет «Харківський політехнічний інститут» image/svg+xml

Анотація

У статті розглянута ключова проблема безрідинного акустичного контролю металевих виробів та запропоноване новітнє рішення для дефектоскопії в умовах промислового виробництва. Основною особливістю рішення є використання тонкоплівкових гнучких ємнісних перетворювачів на основі структури ITO/поліімід/Al2O3 загальною товщиною не більше 20 мкм. На підставі проведеного дослідження структурних та електричних властивостей шарів такої структури визначені оптимальні умови їх отримання для максимально ефективного використання у якості ємнісних перетворювачів. Створено дослідний зразок тонкоплівкового ємнісного перетворювача для акустичного контролю металевих виробів на основі структури Al/ITO/поліімід/Al2O3.

Біографії авторів

  • автор Л. В. Зайцева, афіліація Національний технічний університет «Харківський політехнічний інститут», ВАТ «Турбоатом»
    н. с.
  • автор Г. С. Хрипунов, афіліація Національний технічний університет «Харківський політехнічний інститут»
    д. ф.-м. н., проф.
  • автор Р. В. Зайцев, афіліація Національний технічний університет «Харківський політехнічний інститут»
    н. с.
  • автор А. Л. Хрипунова, афіліація Національний технічний університет «Харківський політехнічний інститут»
    н. с.

Завантаження

Опубліковано

2015-04-27

Номер

Том 12 № 4 (2014): Фізична інженерія поверхні

Розділ

Статті

Ліцензія

У відповідності з типовим шаблоном.

Як цитувати

Плівкові гнучкі ємнісні перетворювачі на основі структури ITO/поліімід/Al2O3. (2015). Журнал фізики та інженерії поверхні, 12(4), 505-509. https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/1479

Статті цього автора (цих авторів), які найбільше читають