Calculation of the generator for induction discharge initiation

Автор(и)

  • A. M. Deryzemlia National Science Center “Kharkov Institute of Physics and Technology” 1 Akademicheskaya St. 61108 Kharkov, Ukraine
  • P. G. Kryshtal National Science Center “Kharkov Institute of Physics and Technology” 1 Akademicheskaya St. 61108 Kharkov, Ukraine
  • V. I. Radchenko National Science Center “Kharkov Institute of Physics and Technology” 1 Akademicheskaya St. 61108 Kharkov, Ukraine
  • O. I. Yevsiukov National Science Center “Kharkov Institute of Physics and Technology” 1 Akademicheskaya St. 61108 Kharkov, Ukraine
  • D. A. Khizhnyak National Science Center “Kharkov Institute of Physics and Technology” 1 Akademicheskaya St. 61108 Kharkov, Ukraine
  • B. M. Shirokov National Science Center “Kharkov Institute of Physics and Technology” 1 Akademicheskaya St. 61108 Kharkov, Ukraine

Ключові слова:

ВЧ генератор, циліндричний індукційний розряд, тетрахлорид кремнію

Анотація

Представлено модернізований ВЧ генератор для збудження індукційного розряду, що працює на частоті 880 кГц в широкій області високочастотних потужностей і тисків газу. Проведено розрахунок резонансних кіл генератора на частоті 880 кГц. Розглянуто залежність дійсної і уявної складової імпедансу розряду від концентрації електронів для циліндричного індукційного розряду.

Завантаження

Опубліковано

2015-07-01

Номер

Том 1158 № 22 (2015)

Розділ

Статті

Як цитувати

Calculation of the generator for induction discharge initiation. (2015). Вісник Харківського національного університету імені В. Н. Каразіна. Серія «Фізика», 1158(22), 18-22. https://periodicals.karazin.ua/physics/article/view/7794