Розробка математичної моделі автоматизованої системи управління нанесення наноструктурованих діелектричніх плівок

Автор(и)

  • Дмитро Валерійович Гурін
  • Ігор Шакирович Невлюдов

Ключові слова:

наноструктуровані діелектричні плівки, критерій оптимальності, керуючі впливи, катодне розпилення, напилення у вакуумі

Анотація

У статті розглянуто розробку математичної моделі автоматизованої систему управління отримання наноструктурованних діелектричних плівок. В ході розробки математичної моделі були визначені оптимальні керуючи впливи, проведено дослідження осадження плівок та вибір критерію оптимальності. Наведені результати розрахунку оптимізації технологічного процесу одержання плівок та схема варіантів оптимального управління, що дозволило розробити математичну модель технологічного процесу осадження наноструктурованних діелектричних плівок.

Завантаження

Опубліковано

2018-01-19

Номер

Том 37 (2018)

Розділ

Статті

Як цитувати

Розробка математичної моделі автоматизованої системи управління нанесення наноструктурованих діелектричніх плівок. (2018). Вісник Харківського національного університету імені В.Н. Каразіна, серія «Математичне моделювання. Інформаційні технології. Автоматизовані системи управління», 37(1), 45-53. https://periodicals.karazin.ua/mia/article/view/10516