Development of a mathematical model of an automated control system for depositing nanostructured dielectric slicks
Keywords:
nanostructured dielectric films, the optimality criterion, control actions, cathode sputtering, vacuum deposition
Abstract
The article deals with the development of the mathematical model of an automated control system for the dielectric film production. The mathematical model being developed, the optimal control actions have been determined. The study of the film deposition and the optimality criterion selection has been made. The results of the calculations to optimize the technological process of film obtaining and the scheme of optimal control options are presented. It allows developing the mathematical model of the technological process of the dielectric film deposition.Downloads
Download data is not yet available.
References
В.Н. Кеменов, С.Б. Нестеров, О.С. Зилова, Е.Н. Капустин. Исследование качества тонкоплёночных покрытий, полученных на установках магнетронного и вакуумногоплазменно-дугового осаждения, с использованием метода СЗМ// Сборник докладов Международного научно-практического симпозиума “Функциональные покрытия на стёклах”. Харьковская Научная Ассамблея, 2003, с.113-117.
Гурин, В.Н. Математические модели технологического процесса напыления наноструктурированных диэлектрических пленок, полученных методом ионно-плазменного распыления [Текст] / В.Н. Гурин, А.Г. Фирсов, Д.В. Гурин // В сб: Автоматизированные системы управления и проборы автоматики, вып.161, Харьков, 2012. – 136 с.
Жуков, В.В. Распыление мишени магнетронного диода в присутствии внешнего ионного пучка [Текст] / В.В. Жуков, В.П. Кривобоков, С.Н. Янин. – М: Радио и связь, 2006. – 140 с.
Мікросистемна техніка та нанотехнології: монографія / Невлюдов І.Ш., Палагін В.А. - Киев, НАУ 2017. – 528 c.
Автоматизоване управління технологічним процесом витягування мікроструктурованих оптичних волокон: монографія / Филипенко О.І., Невлюдов І.Ш., Пономарьова Г.В. - Харків: Бурун і К, 2015. – 132 с.
Гурін Д.В. Аналіз методів отримання наноструктурованих діелектричних плівок [Текст] / А.О. Андрусевич, Д.В Гурін, І.Н Малая // В сб: Технология приборосроения, вып 3, Харків 2016 – 7с.
Гурин, В.Н. Математические модели технологического процесса напыления наноструктурированных диэлектрических пленок, полученных методом ионно-плазменного распыления [Текст] / В.Н. Гурин, А.Г. Фирсов, Д.В. Гурин // В сб: Автоматизированные системы управления и проборы автоматики, вып.161, Харьков, 2012. – 136 с.
Жуков, В.В. Распыление мишени магнетронного диода в присутствии внешнего ионного пучка [Текст] / В.В. Жуков, В.П. Кривобоков, С.Н. Янин. – М: Радио и связь, 2006. – 140 с.
Мікросистемна техніка та нанотехнології: монографія / Невлюдов І.Ш., Палагін В.А. - Киев, НАУ 2017. – 528 c.
Автоматизоване управління технологічним процесом витягування мікроструктурованих оптичних волокон: монографія / Филипенко О.І., Невлюдов І.Ш., Пономарьова Г.В. - Харків: Бурун і К, 2015. – 132 с.
Гурін Д.В. Аналіз методів отримання наноструктурованих діелектричних плівок [Текст] / А.О. Андрусевич, Д.В Гурін, І.Н Малая // В сб: Технология приборосроения, вып 3, Харків 2016 – 7с.
Published
2018-01-19
How to Cite
Гурін, Д. В., & Невлюдов, І. Ш. (2018). Development of a mathematical model of an automated control system for depositing nanostructured dielectric slicks. Bulletin of V.N. Karazin Kharkiv National University, Series «Mathematical Modeling. Information Technology. Automated Control Systems», 37(1), 45-53. Retrieved from https://periodicals.karazin.ua/mia/article/view/10516
Issue
Section
Статті
