Закономірності формування напружено-деформованого стану в йонно-плазмових конденсатах системи TiC-WC
Ключові слова:
квазібінарна система, магнетронне розпилення, покриття, нанокристалічний стан, рентгенівська дифрактометріяАнотація
Методом рентгенівської дифрактометрії, включно із рентгентензометрією (“a-sin2ψ”-метод), проаналізовано фазово-структурний й напружено-деформований стани йонно-плазмових покриттів квазібінарної системи TiC-WC у залежності від співвідношення TiC/WC складових і температури осадження. Виявлено розширення (в порівнянні з рівноважним) меж області існування кристалічного стану з кубічною решіткою структурного типу NaCl. Визначено, що TiC складова із міцним ковалентним зв’язком між металом та вуглецем приводить до збільшення величини залишкових напружень стиснення в покритті, що при температурі осадження 530 К і складі 25 мол.% WC – 75 мол.% TiC досягли – 7.7 ГПа. Встановлено, що в нанокристалічному стані покриттів коефіцієнт Пуассона складає близько 0.24, а коефіцієнт термічного розширення – 2⋅10−5 К−1.
