Магнетронне розпилення високотемпературної композиційної кераміки AlN-TiB2-TiSi2

Автор(и)

  • I. N. Torianik V.N. Karazin Kharkiv National University
  • V. M. Beresnev V.N. Karazin Kharkiv National University
  • A. D. Pogrebnjak Сумський державний університет image/svg+xml
  • O. V. Sobol National Technical University “Kharkiv Polytechnic Institute”
  • Ye. V. Beresneva V.N. Karazin Kharkiv National University
  • I. A. Podcherniaieva I.N. Frantsevich Institute for Problems of Materials Science
  • A. Yu. Kropotov V.N. Karazin Kharkiv National University Scientific Center of Physical Technologies MES and NAS of Ukraine
  • N. G. Stiervoiedov V.N. Karazin Kharkiv National University
  • P. V. Turbin V.N. Karazin Kharkiv National University Scientific Center of Physical Technologies MES and NAS of Ukraine
  • D. A. Kolesnikov Belgorod National Research University image/svg+xml
  • S. S. Grankin V.N. Karazin Kharkiv National University
  • U. S. Nyemchenko V.N. Karazin Kharkiv National University
  • P. A. Srebniuk V.N. Karazin Kharkiv National University
  • V. Yu. Novikov Belgorod National Research University V.N. Karazin Kharkiv National University

Ключові слова:

кераміка, композиційні покриття, магнетронний метод розпилення, фізикомеханічні властивості

Анотація

Магнетронним методом розпилення, із застосуванням постійної та імпульсної напруг на мішень, отримані покриття на основі кераміки AlN-TiB2-TiSi2. Виявлено аморфноподібну структуру сформованих покриттів із областю впорядкування ~1 нм і коефіцієнтом в’язкопластичності 0,07. Твердість покриттів досягає 15,3 ГПа, а модуль пружності складає 206 ГПа. Покриття характеризуються високою адгезійною міцністю по відношенню до підкладинки.

 

 

Біографії авторів

  • автор I. N. Torianik, афіліація V.N. Karazin Kharkiv National University
    с.н.с.
  • автор V. M. Beresnev, афіліація V.N. Karazin Kharkiv National University
    с.н.с.
  • автор A. D. Pogrebnjak, афіліація Сумський державний університет
    с.н.с.
  • автор O. V. Sobol, афіліація National Technical University “Kharkiv Polytechnic Institute”
    с.н.с.
  • автор Ye. V. Beresneva, афіліація V.N. Karazin Kharkiv National University
    с.н.с.
  • автор I. A. Podcherniaieva, афіліація I.N. Frantsevich Institute for Problems of Materials Science
    с.н.с.
  • автор A. Yu. Kropotov, афіліація V.N. Karazin Kharkiv National University Scientific Center of Physical Technologies MES and NAS of Ukraine
    с.н.с.
  • автор N. G. Stiervoiedov, афіліація V.N. Karazin Kharkiv National University
    с.н.с.
  • автор P. V. Turbin, афіліація V.N. Karazin Kharkiv National University Scientific Center of Physical Technologies MES and NAS of Ukraine
    с.н.с.
  • автор D. A. Kolesnikov, афіліація Belgorod National Research University
    с.н.с.
  • автор S. S. Grankin, афіліація V.N. Karazin Kharkiv National University
    с.н.с.
  • автор U. S. Nyemchenko, афіліація V.N. Karazin Kharkiv National University
    с.н.с.
  • автор P. A. Srebniuk, афіліація V.N. Karazin Kharkiv National University
    с.н.с.
  • автор V. Yu. Novikov, афіліація Belgorod National Research University V.N. Karazin Kharkiv National University
    с.н.с.

Завантаження

Опубліковано

2017-07-21

Номер

Том 11 № 3 (2013): Фізична інженерія поверхні

Розділ

Статті

Ліцензія

У відповідності з типовим шаблоном.

Як цитувати

Магнетронне розпилення високотемпературної композиційної кераміки AlN-TiB2-TiSi2. (2017). Журнал фізики та інженерії поверхні, 11(3), 299-303. https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/8764

Статті цього автора (цих авторів), які найбільше читають