Магнетронне розпилення високотемпературної композиційної кераміки AlN-TiB2-TiSi2
Ключові слова:
кераміка, композиційні покриття, магнетронний метод розпилення, фізикомеханічні властивостіАнотація
Магнетронним методом розпилення, із застосуванням постійної та імпульсної напруг на мішень, отримані покриття на основі кераміки AlN-TiB2-TiSi2. Виявлено аморфноподібну структуру сформованих покриттів із областю впорядкування ~1 нм і коефіцієнтом в’язкопластичності 0,07. Твердість покриттів досягає 15,3 ГПа, а модуль пружності складає 206 ГПа. Покриття характеризуються високою адгезійною міцністю по відношенню до підкладинки.
Завантаження
Опубліковано
2017-07-21
Номер
Розділ
Статті
Ліцензія
У відповідності з типовим шаблоном.Як цитувати
Магнетронне розпилення високотемпературної композиційної кераміки AlN-TiB2-TiSi2. (2017). Журнал фізики та інженерії поверхні, 11(3), 299-303. https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/8764