Магнетронне розпилення високотемпературної композиційної кераміки AlN-TiB2-TiSi2
Ключові слова:
кераміка, композиційні покриття, магнетронний метод розпилення, фізикомеханічні властивості
Анотація
Магнетронним методом розпилення, із застосуванням постійної та імпульсної напруг на мішень, отримані покриття на основі кераміки AlN-TiB2-TiSi2. Виявлено аморфноподібну структуру сформованих покриттів із областю впорядкування ~1 нм і коефіцієнтом в’язкопластичності 0,07. Твердість покриттів досягає 15,3 ГПа, а модуль пружності складає 206 ГПа. Покриття характеризуються високою адгезійною міцністю по відношенню до підкладинки.
Завантаження
##plugins.generic.usageStats.noStats##
Посилання
Nanostructured Coatings//Editors: Albano Cavaleiro, Jeff Th. M. De Hosson. – M.: Technosphere, 2011. – 792 p. (by Russian).
Kelly P.J., Arnell R.D. Magnetron sputtering: a review of recent developments and applications //J. Vacuum. – 2000. – Vol. 56. – P. 159-172.
Musil J., Baroch P., Vlиek J. et al. Reactive magnetron sputtering of thin films: present status and trends//Thin Solid Films. – 2005. – Vol. 475. – P. 208-218.
Berlin E.V., Seidman L.A. Ion-plasma processes in thin-film technology. – M.: Technosphere, 2010. – 528 p. (by Russian).
Azarenkov N.A., Sobol O.V., Pogrebnjak A.D., Beresnev V.M. Engineering of vacuum-plasma coatings. – Kharkiv: Karazin Kharkiv National University, 2011. – 344 p. (by Russian).
Lavrov V.N., Orlov I.I., Fedotov A.F. Thermal conductivity and temperature of vacuum-arc evaporation of multilayers of SVS-pressed cathode systems TiS0.5-Al and TiS0.5-Al-Si//Vestn. Samar. State. Tehn. Univ. Ser. Technical sciences. – 2013. – No. 1 (37). – P. 72-86. (by Russian).
Samsonov G.V., Vinnitskiy I.M. Refractory compounds: A handbook. – M.: Metallurgy, 1976. – 560 p. (by Russian).
Samsonov G.V., Dvorin L.A. PV Geld Silicide. – M.: Metallurgy, 1979. – 272 p. (by Russian).
Andreev A.A., Sabers L.P., Grigoriev S.N. Vacuum-arc coating. – Kharkiv: NSC “KhPTI”, 2010. – 317 p. (by Russian).
Firsov S.A., Rogul T.G. Theoretical (limiting) hardness//Add. National Academy of Sciences of Ukraine. – 2007. – No. 4. – P. 110-114.
Shautsukov A.G. Contemporary conception about the possible mechanisms of adhesion of metallic films to different films//Applied Physics. – 2006. – No. 5. – P. 16-21. (by Russian).
Matsevity V.M. Coatings for cutting tools. – Kharkov: High School, 1987. – 127 p. (by Russian).
Musil J. Properties of hard nanocomposite thin films. (In book Nanocomposite Thin Films and Coatings: Processing, Properties and Performance). Ch. 5/Eds. S. Zhang, A. Nasar. – 2007. – London: Imperial College Press. – P. 281-328.
Kelly P.J., Arnell R.D. Magnetron sputtering: a review of recent developments and applications //J. Vacuum. – 2000. – Vol. 56. – P. 159-172.
Musil J., Baroch P., Vlиek J. et al. Reactive magnetron sputtering of thin films: present status and trends//Thin Solid Films. – 2005. – Vol. 475. – P. 208-218.
Berlin E.V., Seidman L.A. Ion-plasma processes in thin-film technology. – M.: Technosphere, 2010. – 528 p. (by Russian).
Azarenkov N.A., Sobol O.V., Pogrebnjak A.D., Beresnev V.M. Engineering of vacuum-plasma coatings. – Kharkiv: Karazin Kharkiv National University, 2011. – 344 p. (by Russian).
Lavrov V.N., Orlov I.I., Fedotov A.F. Thermal conductivity and temperature of vacuum-arc evaporation of multilayers of SVS-pressed cathode systems TiS0.5-Al and TiS0.5-Al-Si//Vestn. Samar. State. Tehn. Univ. Ser. Technical sciences. – 2013. – No. 1 (37). – P. 72-86. (by Russian).
Samsonov G.V., Vinnitskiy I.M. Refractory compounds: A handbook. – M.: Metallurgy, 1976. – 560 p. (by Russian).
Samsonov G.V., Dvorin L.A. PV Geld Silicide. – M.: Metallurgy, 1979. – 272 p. (by Russian).
Andreev A.A., Sabers L.P., Grigoriev S.N. Vacuum-arc coating. – Kharkiv: NSC “KhPTI”, 2010. – 317 p. (by Russian).
Firsov S.A., Rogul T.G. Theoretical (limiting) hardness//Add. National Academy of Sciences of Ukraine. – 2007. – No. 4. – P. 110-114.
Shautsukov A.G. Contemporary conception about the possible mechanisms of adhesion of metallic films to different films//Applied Physics. – 2006. – No. 5. – P. 16-21. (by Russian).
Matsevity V.M. Coatings for cutting tools. – Kharkov: High School, 1987. – 127 p. (by Russian).
Musil J. Properties of hard nanocomposite thin films. (In book Nanocomposite Thin Films and Coatings: Processing, Properties and Performance). Ch. 5/Eds. S. Zhang, A. Nasar. – 2007. – London: Imperial College Press. – P. 281-328.
Опубліковано
2017-07-21
Як цитувати
Torianik, I. N., Beresnev, V. M., Pogrebnjak, A. D., Sobol, O. V., Beresneva, Y. V., Podcherniaieva, I. A., Kropotov, A. Y., Stiervoiedov, N. G., Turbin, P. V., Kolesnikov, D. A., Grankin, S. S., Nyemchenko, U. S., Srebniuk, P. A., & Novikov, V. Y. (2017). Магнетронне розпилення високотемпературної композиційної кераміки AlN-TiB2-TiSi2. Журнал фізики та інженерії поверхні, 11(3), 299 - 303. вилучено із https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/8764
Розділ
Статті
У відповідності з типовим шаблоном.
