Температурна залежність розподілу імплантованих іонів Мо+ ТА W+ за глибиною у титановому сплаві ВТ-6

Автор(и)

  • Л. В. Маликов Научный физико-технологический центр МОН и НАН Украины, Харьковский национальный университет имени В. Н. Каразина,

Ключові слова:

імплантація, іони, відпалювання, профілі розподілу елементів, титановий сплав ВТ-6.

Анотація

Проаналізовано вплив імплантації іонів металів W+ і Мо+ в титанові сплави ВТ-6 на фазовий склад приповерхневих шарів. Розширення лінії α-Ti (101) вказує на тенденцію збільшення деформації кристалічної гратки α-Ti при імплантації важких іонів W+ і Мо +. Досліджено температурну залежність профілів розподілу іонів Мо+ і W+ в титановому сплаві ВТ-6 при імплантації дозою 5 × 1017 см–2 з енергією 60 кеВ. Після відпалювання при температурі 823 K основні зміни пов’язані з фазою Al3Ti. На дифрактограмах спостерігається відособлений пік (111) Al3Ti. 

Біографія автора

  • автор Л. В. Маликов, афіліація Научный физико-технологический центр МОН и НАН Украины, Харьковский национальный университет имени В. Н. Каразина,
    С.н.с.

Завантаження

Опубліковано

2017-02-24

Номер

Том 13 № 3 (2015): Фізична інженерія поверхні

Розділ

Статті

Ліцензія

У відповідності з типовим шаблоном.

Як цитувати

Температурна залежність розподілу імплантованих іонів Мо+ ТА W+ за глибиною у титановому сплаві ВТ-6. (2017). Журнал фізики та інженерії поверхні, 13(3), 406-410. https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/8035

Статті цього автора (цих авторів), які найбільше читають