Структурно-фазовий стан поверхні при високодозній іонній імплантації титану в монокристали Cu

Автор(и)

  • А. Д. Погребняк Сумской государственный университет
  • Аид Куссей Джаруллах Сумской государственный университет

Ключові слова:

іонна імплантація, іони титану, аморфні плівки, карбід титану

Анотація

Наведені результати експериментальних досліджень профілів розділу концентрації впроваджених іонів і попутних домішок за глибиною поверхні монокристалів міді в результаті високодозної імплантації іонами титану. Встановлено, що в результаті впливу іонами титану поблизу поверхні формуються тонкі аморфні вуглецеві і окислені плівки, а також карбід титану.

Біографії авторів

  • автор А. Д. Погребняк, афіліація Сумской государственный университет
    Проф.
  • автор Аид Куссей Джаруллах, афіліація Сумской государственный университет
    Аспірант

Завантаження

Опубліковано

2016-06-24

Номер

Том 1 № 1 (2016): Журнал фізики та інженерії поверхні

Розділ

Статті

Ліцензія

У відповідності з типовим шаблоном.

Як цитувати

Структурно-фазовий стан поверхні при високодозній іонній імплантації титану в монокристали Cu. (2016). Журнал фізики та інженерії поверхні, 1(1), 57–61. https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/6094

Статті цього автора (цих авторів), які найбільше читають