Структурно-фазовий стан поверхні при високодозній іонній імплантації титану в монокристали Cu
Ключові слова:
іонна імплантація, іони титану, аморфні плівки, карбід титану
Анотація
Наведені результати експериментальних досліджень профілів розділу концентрації впроваджених іонів і попутних домішок за глибиною поверхні монокристалів міді в результаті високодозної імплантації іонами титану. Встановлено, що в результаті впливу іонами титану поблизу поверхні формуються тонкі аморфні вуглецеві і окислені плівки, а також карбід титану.
Завантаження
##plugins.generic.usageStats.noStats##
Посилання
1. Nikitin A. A., Travina N. T., Guseva M. I. et. al. Structural and phase transitions and В+ and С+ distribution profiles in implanted steels // Surface. Physics, chemistry, mechanics. — 1989. — Vol. 3. — 21 p.
2. Pout G. M., Foti G., Jacobson D. K. Surface modification and alloying by laser, ion, and electron beams. — М.: Mashinostroenie, 1987. — 443 p.
3. Guseva M. I. Ion implantation in metals // Surface. Physics, chemistry, mechanics. — 1986. — Vol. 2. — P. 27–50.
4. Vladimirov B. G., Guseva M. I., Fedorov A. V. et. al. Investigation of properties of ion-implanted steels // Surface. Physics, chemistry, mechanics. — 1983. — Vol. 7. — P. 123—128.
5. Komarov F. F. Ion implantation in metals. — М.: Metallurgy, 1990. — 216 p.
6. Bely A. V., Kukareko V. A., Lobodaeva O. V. Phase and structural transitions in iron and its alloys at ion implantation // The physics of metals and metallography. — 1995. — Vol. 80. — P. 82–95.
7. Buryankov A. F., Komarov F. F., Fedotov S. A. Deep distribution of impurity at ion implantation with formation of stable phases // Surface. — 1990. — No. 5. — P. 75–80.
8. Аymakov M. Sh., Zhetbayevв А. К., Kardyzhanov К. К. Phase formation in iron, implantated with ions of nitrogen and carbon // Surface. — 1988. — No. 10. — P. 134–137.
9. Pogrebnjak A. D., Sharkeev Yu. P., Lychaghin D. V. et. al. Relation of mechanical and frictional properties to defects in high power ion beam irradiated α-Fe // Phys. Letters A. — 1989. — Vol. 141, No. 3–4. — P. 204–206.
10. Pogrebnjak A. D., Duvanov S. M., Mikhaliov A. D. et al. Surface and near surface structure and composition of high-dose implanted and electron beam annealed single crystal copper // Surf. Coat. Technol. — 1997. — Vol. 89. — P. 90–96.
11. Shulov V. A., Remnev G. Ye., Kascheev V. N. et. al. Influence of ion and beam processing by high power pulse beams on physical and chemical state of the surface layers and on fatigue strength of EP718I alloy // Physics and Chemistry of Materials Treatment. — 1992. — No. 6. — P. 28–35.
12. Pogrebnjak A. D., Shantyr R. I., Kul’ment’eva O. P. Modification and mixing multilayer systems by means of a high-power ion beam // Vacuum. — 2002. — Vol. 67. — P. 243–248.
2. Pout G. M., Foti G., Jacobson D. K. Surface modification and alloying by laser, ion, and electron beams. — М.: Mashinostroenie, 1987. — 443 p.
3. Guseva M. I. Ion implantation in metals // Surface. Physics, chemistry, mechanics. — 1986. — Vol. 2. — P. 27–50.
4. Vladimirov B. G., Guseva M. I., Fedorov A. V. et. al. Investigation of properties of ion-implanted steels // Surface. Physics, chemistry, mechanics. — 1983. — Vol. 7. — P. 123—128.
5. Komarov F. F. Ion implantation in metals. — М.: Metallurgy, 1990. — 216 p.
6. Bely A. V., Kukareko V. A., Lobodaeva O. V. Phase and structural transitions in iron and its alloys at ion implantation // The physics of metals and metallography. — 1995. — Vol. 80. — P. 82–95.
7. Buryankov A. F., Komarov F. F., Fedotov S. A. Deep distribution of impurity at ion implantation with formation of stable phases // Surface. — 1990. — No. 5. — P. 75–80.
8. Аymakov M. Sh., Zhetbayevв А. К., Kardyzhanov К. К. Phase formation in iron, implantated with ions of nitrogen and carbon // Surface. — 1988. — No. 10. — P. 134–137.
9. Pogrebnjak A. D., Sharkeev Yu. P., Lychaghin D. V. et. al. Relation of mechanical and frictional properties to defects in high power ion beam irradiated α-Fe // Phys. Letters A. — 1989. — Vol. 141, No. 3–4. — P. 204–206.
10. Pogrebnjak A. D., Duvanov S. M., Mikhaliov A. D. et al. Surface and near surface structure and composition of high-dose implanted and electron beam annealed single crystal copper // Surf. Coat. Technol. — 1997. — Vol. 89. — P. 90–96.
11. Shulov V. A., Remnev G. Ye., Kascheev V. N. et. al. Influence of ion and beam processing by high power pulse beams on physical and chemical state of the surface layers and on fatigue strength of EP718I alloy // Physics and Chemistry of Materials Treatment. — 1992. — No. 6. — P. 28–35.
12. Pogrebnjak A. D., Shantyr R. I., Kul’ment’eva O. P. Modification and mixing multilayer systems by means of a high-power ion beam // Vacuum. — 2002. — Vol. 67. — P. 243–248.
Опубліковано
2016-06-24
Як цитувати
Погребняк, А. Д., & Джаруллах, А. К. (2016). Структурно-фазовий стан поверхні при високодозній іонній імплантації титану в монокристали Cu. Журнал фізики та інженерії поверхні, 1(1), 57–61. вилучено із https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/6094
Розділ
Статті
У відповідності з типовим шаблоном.
