Нанокристалічні алмазні cvd-плівки: структура, властивості і перспективи застосування

Автор(и)

  • И. И. Выровец Национальный научный центр “Харьковский физико-технический институт”
  • В. И. Грицына Национальный Научный Центр «Харьковский физико-технический институт», Харьков
  • С. Ф. Дудник Национальный Научный Центр «Харьковский физико-технический институт», Харьков
  • О. А. Опалев Национальный Научный Центр «Харьковский физико-технический институт», Харьков
  • Е. Н. Решетняк Национальный Научный Центр «Харьковский физико-технический институт», Харьков
  • В. Е. Стрельницкий Национальный Научный Центр «Харьковский физико-технический институт», Харьков

Ключові слова:

нанокристалічні алмазні плівки; метод газофазного хімічного осадження; густина зародкоутворення; морфологія поверхні; фізичні властивості; галузі застосування

Анотація

Наведено огляд літератури, що присвячена синтезу нанокристалічних алмазних плівок методом газофазного хімічного осадження. Обговорюються основні прийоми, які дозволяють обмежувати розмір зерен зростаючих кристалітів в алмазних плівках. До них можна віднести попередню обробку поверхні підкладки, зміну складу робочого газу та подачу потенціалу зміщення на підкладку. Розглянуто особливості структури й властивостей наноструктурних алмазних плівок і перспективи їх використання у різних галузях науки та техніки.

Біографії авторів

  • автор И. И. Выровец, афіліація Национальный научный центр “Харьковский физико-технический институт”

    снс

  • автор В. И. Грицына, афіліація Национальный Научный Центр «Харьковский физико-технический институт», Харьков

    снс

  • автор С. Ф. Дудник, афіліація Национальный Научный Центр «Харьковский физико-технический институт», Харьков

    снс

  • автор О. А. Опалев, афіліація Национальный Научный Центр «Харьковский физико-технический институт», Харьков

    снс

  • автор Е. Н. Решетняк, афіліація Национальный Научный Центр «Харьковский физико-технический институт», Харьков

    снс

  • автор В. Е. Стрельницкий, афіліація Национальный Научный Центр «Харьковский физико-технический институт», Харьков

    снс

Завантаження

Опубліковано

2010-02-18

Номер

Том 8 № 1 (2010): Фізична інженерія поверхні

Розділ

Статті

Ліцензія

У відповідності з типовим шаблоном.

Як цитувати

Нанокристалічні алмазні cvd-плівки: структура, властивості і перспективи застосування. (2010). Журнал фізики та інженерії поверхні, 8(1), 4-19. https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/11764

Статті цього автора (цих авторів), які найбільше читають

<< < 1 2