Вплив режиму магнетронного розпилення та складу реакційного газу на структуру і властивості плівок ITO

Автор(и)

  • А. И. Бажин Донецкий национальный университет
  • А. Н. Троцан Донецкий национальный университет
  • С. В. Чертопалов Донецкий национальный университет
  • А. А. Стипаненко Донецкий национальный университет
  • В. А. Ступак Донецкий национальный университет

Ключові слова:

плівки ITO, магнетронне розпилення, переважна орієнтація, електричний опір, прозорість, ширина забороненої зони

Анотація

Вивчено вплив температури підкладки, складу робочого газу і режимів DC і MF реактивного магнетронного розпилення сплаву 90%In + 10%Sn на структурний стан, електричний опір, прозорість і ширину забороненої зони плівок ITO, осаджених на скляні підкладки. Встановлена залежність електронно-оптичних властивостей плівок ITO від умов їх отримання пояснюється впливом ступеню релаксації внутрішніх напруг і кристалічності.

 

 

Біографії авторів

  • автор А. И. Бажин, афіліація Донецкий национальный университет
    с.н.с.
  • автор А. Н. Троцан, афіліація Донецкий национальный университет
    с.н.с.
  • автор С. В. Чертопалов, афіліація Донецкий национальный университет
    с.н.с.
  • автор А. А. Стипаненко, афіліація Донецкий национальный университет
    с.н.с.
  • автор В. А. Ступак, афіліація Донецкий национальный университет
    с.н.с.

Завантаження

Опубліковано

2012-10-08

Номер

Том 10 № 4 (2012): Фізична інженерія поверхні

Розділ

Статті

Ліцензія

У відповідності з типовим шаблоном.

Як цитувати

Вплив режиму магнетронного розпилення та складу реакційного газу на структуру і властивості плівок ITO. (2012). Журнал фізики та інженерії поверхні, 10(4), 342-349. https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/10074

Статті цього автора (цих авторів), які найбільше читають