От редколлегии

Authors

В. И. Фареник Харьковский национальный университет имени В. Н. Каразина Научный физико-технологический центр МОН и НАН Украины

К 40-летию начала исследований в области плазменных технологий в микроэлектронике на физико-техническом факультете Харьковского университета

В. И. Фареник, Харьковский национальный университет имени В. Н. Каразина Научный физико-технологический центр МОН и НАН Украины

К. ф.-м. н., с. н. с.

2015-12-04

Статті

У відповідності з типовим шаблоном.

От редколлегии. (2015). Journal of Surface Physics and Engineering, 13(2), 276 – 281. https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/4572

Download Citation