Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления

Authors

  • А. В. Зыков V. N. Karazin Kharkiv National University image/svg+xml
  • С. В. Дудин V. N. Karazin Kharkiv National University image/svg+xml
  • С. Д. Яковин V. N. Karazin Kharkiv National University image/svg+xml

Abstract

Проведены экспериментальные исследования стационарных режимов, а также порогов погасания магнетронного разряда с управляемым по величине и топологии магнитным полем. Предложено объяснение полученных результатов на основании пространственноусредненной модели газового разряда с объемной ионизацией, адаптированной для магнетронного разряда.

Author Biographies

  • А. В. Зыков, V. N. Karazin Kharkiv National University
    К. ф.-м. н., доц.
  • С. В. Дудин, V. N. Karazin Kharkiv National University
    К. ф.-м. н., доц.
  • С. Д. Яковин, V. N. Karazin Kharkiv National University
    К. ф.-м. н., с. н. с.

Downloads

Published

2015-12-04

Issue

Vol. 13 No. 2 (2015): Фізична інженерія поверхні

Section

Статті

License

У відповідності з типовим шаблоном.

How to Cite

Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления. (2015). Journal of Surface Physics and Engineering, 13(2), 264 – 275. https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/4571

Most read articles by the same author(s)