Влияние термически активированных структурных превращений в пленках диоксида олова на их электрические свойства
Abstract
Досліджуються плівки діоксиду олова, що отримуються методом магнетронного розпилення на постійному струмі. Наведені результати досліджень зміни фазового складу і електричної провідності плівок оксиду олова, отриманих при температурах осадження (150-350) °С при проведенні подальшого відпалу на повітрі при температурі 500 °С на протязі 1 години. Показано, що кількісний характер зміни електропровідності при відпалі залежить від температури осадження плівок оскільки вона визначає зміст субоксидів, а також співвідношення між аморфною і кристалічною фазою діоксиду олова. Виявлені два конкуруючих термічно активованих структурних процесу, що впливають на технічні параметри активних шарів газових датчиків на основі плівок оксиду олова. Запропоновано конструктивно-технологічне рішення активного шару з високою газочутливістю, відтворюваністю і стабільністю.
