Распределение элементов по глубине многокомпонентных покрытий на основе системы (Ti-Al-Zr-Nb-Y)N

Authors

  • П. В. Турбин Научный физико-технологический центр МОН и НАН Украины

Abstract

Покрытия на основе системы (Ti-Al-Zr-Nb-Y)N формировались распылением многокомпонентного катода вакуумно-дуговым методом. Исследование распределения образующих элементов и примесей по глубине осуществлялось методом энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии. Установлена определенная неравномерность распределения образующих элементов по глубине покрытия и присутствие примесей, обусловленных методом и средой формирования, а также структурой катода.

Author Biography

  • П. В. Турбин, Научный физико-технологический центр МОН и НАН Украины
    к. ф.-м. н., заст. директора

Downloads

Published

2015-04-27

Issue

Vol. 12 No. 4 (2014): Фізична інженерія поверхні

Section

Статті

License

У відповідності з типовим шаблоном.

How to Cite

Распределение элементов по глубине многокомпонентных покрытий на основе системы (Ti-Al-Zr-Nb-Y)N. (2015). Journal of Surface Physics and Engineering, 12(4), 556-563. https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/1486

Most read articles by the same author(s)