Плівкові гнучкі ємнісні перетворювачі на основі структури ITO/поліімід/Al2O3

Authors

  • Л. В. Зайцева Національний технічний університет «Харківський політехнічний інститут», ВАТ «Турбоатом»
  • Г. С. Хрипунов National Technical University "Kharkiv Polytechnic Institute" image/svg+xml
  • Р. В. Зайцев National Technical University "Kharkiv Polytechnic Institute" image/svg+xml
  • А. Л. Хрипунова National Technical University "Kharkiv Polytechnic Institute" image/svg+xml

Abstract

У статті розглянута ключова проблема безрідинного акустичного контролю металевих виробів та запропоноване новітнє рішення для дефектоскопії в умовах промислового виробництва. Основною особливістю рішення є використання тонкоплівкових гнучких ємнісних перетворювачів на основі структури ITO/поліімід/Al2O3 загальною товщиною не більше 20 мкм. На підставі проведеного дослідження структурних та електричних властивостей шарів такої структури визначені оптимальні умови їх отримання для максимально ефективного використання у якості ємнісних перетворювачів. Створено дослідний зразок тонкоплівкового ємнісного перетворювача для акустичного контролю металевих виробів на основі структури Al/ITO/поліімід/Al2O3.

Author Biographies

  • Л. В. Зайцева, Національний технічний університет «Харківський політехнічний інститут», ВАТ «Турбоатом»
    н. с.
  • Г. С. Хрипунов, National Technical University "Kharkiv Polytechnic Institute"
    д. ф.-м. н., проф.
  • Р. В. Зайцев, National Technical University "Kharkiv Polytechnic Institute"
    н. с.
  • А. Л. Хрипунова, National Technical University "Kharkiv Polytechnic Institute"
    н. с.

Downloads

Published

2015-04-27

Issue

Vol. 12 No. 4 (2014): Фізична інженерія поверхні

Section

Статті

License

У відповідності з типовим шаблоном.

How to Cite

Плівкові гнучкі ємнісні перетворювачі на основі структури ITO/поліімід/Al2O3. (2015). Journal of Surface Physics and Engineering, 12(4), 505-509. https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/1479

Most read articles by the same author(s)