Іонна імплантація і перемішування іонних пучків при одночасному осадженні металу та іонній імплантації
Ключові слова:
іонна імплантація, іонно-плазмове осадження, корозійна стійкість, мікротвердість
Анотація
У статті представлені результати дослідження процесів іонної імплантації Ta у монокристали Cu з різними площинами. А також процеси іонного змішування і осадження іонів Ta+ і Cu+ на підкладинку з полікристалічного Al. Виявлено вплив напряму кристалічної площини і те, що при однаковій дозі імплантації в поверхневому шарі імплантована доза різна. Показані можливості одночасної імплантації іонів Ta та Cu і осадження на підкладинку з Al, що сприяє хорошій корозійній стійкості та підвищенню мікротвердості поверхневих шарів.
Завантаження
##plugins.generic.usageStats.noStats##
Посилання
Pogrebnjak A.D., Tolopa A.M. A revive of higndose implantion and production of ion mixed structures//Nucl. Instr. and Meth. − 1990. − Vol. B52. – P. 24-43.
Pogrebnjak A.D., Kobzev A., Gritsenko B.P. et al. Effect of Fe and Zr ion implantion and highcurrent electron irradion treatment of chemical and mechanical properties of Ti-V-Al alloy//Jour. of Appl. Phys. − 2000. − Vol. 87, No. 5. − P.2142-2148.
Pogrebnjak A.D., Bakharev O.G., Pogrebnjak N.A. et al. Certain features of high-dose and intensive implantation of Al ions in iron//Phys. Lett. − 2000. − Vol. A265. P. 225-232.
Kadyrzhanov K.K., Komarov F.F., Pogrebnjak A.D.,et al. Ion-beam and ion-plasma modification of materials. − M.: MGU, 2005.
Pogrebnjak A.D, Bratushka S.N, Beresnev V.M, Levintant-Zayonts N, Shape memory effect and superelasticity of titanium nickelide alloys implanted with high ion doses//RUSS CHEM REV. − 2013. – Vol. 82 (12) – P.1135-1159.
Ivasishin O.M., Pogrebnjak A.D., Bratushka S.N. Nanostructured Layers and coatings formed by ion-plasma fluxes in titanium alloys and steels//Academperiodika Kyiv. − 2011. − P. 285.
Pogrebnjak A.D., Kobzev A., Gritsenko B.P. et al. Effect of Fe and Zr ion implantion and highcurrent electron irradion treatment of chemical and mechanical properties of Ti-V-Al alloy//Jour. of Appl. Phys. − 2000. − Vol. 87, No. 5. − P.2142-2148.
Pogrebnjak A.D., Bakharev O.G., Pogrebnjak N.A. et al. Certain features of high-dose and intensive implantation of Al ions in iron//Phys. Lett. − 2000. − Vol. A265. P. 225-232.
Kadyrzhanov K.K., Komarov F.F., Pogrebnjak A.D.,et al. Ion-beam and ion-plasma modification of materials. − M.: MGU, 2005.
Pogrebnjak A.D, Bratushka S.N, Beresnev V.M, Levintant-Zayonts N, Shape memory effect and superelasticity of titanium nickelide alloys implanted with high ion doses//RUSS CHEM REV. − 2013. – Vol. 82 (12) – P.1135-1159.
Ivasishin O.M., Pogrebnjak A.D., Bratushka S.N. Nanostructured Layers and coatings formed by ion-plasma fluxes in titanium alloys and steels//Academperiodika Kyiv. − 2011. − P. 285.
Опубліковано
2017-07-28
Як цитувати
Lisovenko, M. A., Belovol, K. O., Kyrychenko, O. V., Shablya, V. T., Kassi, J., Gritsenko, B. P., & Burkovska, V. V. (2017). Іонна імплантація і перемішування іонних пучків при одночасному осадженні металу та іонній імплантації. Журнал фізики та інженерії поверхні, 11(4), 406 - 411. вилучено із https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/8947
Розділ
Статті
У відповідності з типовим шаблоном.