Про дифузійне перемішування в шаруватій плівковій системі Ag-Pd
Ключові слова:
плівкова система Ag-Pd, in situ нагрівання в ПЭМ, гомогенізаціяАнотація
Досліджено формування однорідного твердого розчину в шаруватій плівковій системі Ag-Pd з товщиною шарів по 60 нм при in situ нагріванні в ПЕМ. Плівкова система формувалася шляхом послідовної конденсації компонентів у вакуумі при кімнатній температурі підкладки. Показано, що, починаючи з температури 180 °С, в системі Ag-Pd активуються дифузійні процеси, які вже при температурі 350 °С призводять до повної гомогенізації плівкової системи по всій товщині.
Завантаження
Опубліковано
2017-07-28
Номер
Розділ
Статті
Ліцензія
У відповідності з типовим шаблоном.Як цитувати
Про дифузійне перемішування в шаруватій плівковій системі Ag-Pd. (2017). Журнал фізики та інженерії поверхні, 11(4), 351-354. https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/8943