Структура, властивості та морфологія твердих наноструктурованих покриттів Ti-Si-N

Анотація

У роботі представлений порівняльний аналіз результатів, отриманих на зразках наноструктурованих покриттів Ti-Si-N. Елементний склад, дефектна структура, концентрація елементів за глибиноюпокриття та морфологія плівок були досліджені з використанням таких методів як пучок повільних позитронів (SPB), рентгенівської фотоелектронної спектроскопії (РФЕС), резерфордівського зворотнього розсіювання (RBS), протонного мікропучка (µ-PIXE), рентгеноструктурного аналізу (РСА), скануючої електронної мікроскопії з енергодисперсійним аналізом (SEM з EDS). Результати зазначених вище експериментів показали, що змінювання потенціалу підкладки під час нанесення покриттів призводить до змінювання стехіометрії та морфології одержаних покриттів. Крім того після термічної обробки при 600 °С спостерігається утворення двох фаз: твердого розчину TiN та аморфної або квазіаморфної фази α-SiNх(Si3N4). У ході експериментів розмір зерна не змінився, а додаткова термічна обробка сприяла завершенню спінодальної (фазової) сегрегації.