Одновимірне масштабування зображення за допомогою відбиваючої рентгенівської маски

Анотація

У роботі розглянуто питання мініатюризації шаблонних зображень з використанням рентгенівського випромінювання. Метод зменшення оснований на тому, що рентгенівське випромінювання направляють на певний шаблон, шо відбиває рентгенівське випромінювання, під гострим кутом та реєструють одновимірно стиснене зображення на площині, не паралельній площині шаблону. Перевагою такого методу стиснення зображень є відносна простота в його реалізації. В роботі запропоновано застосування рентгенівських багатошарових дзеркал як відбиваючих рентгенівських масок (ВРМ) для одновимірного стиснення зображень. Контроль структурних параметрів багатошарових дзеркал проводився на ретгенівському дифрактометрі ДРОН-3М. Шаблон ВРМ було сформовано методом напилення поглинаючого шару WC товщиною ~0,2 мкм через певний трафарет на поверхню багатошарового дзеркала. Проведено випробування ВРМ із дзеркалами на основі пари матеріалів WC/Si у синхротронному випромінюванні (l~3,5 нм). Отримано 14-кратне стиснення відбивних сегментів ВРМ розміром ~50 мкм. Теоретично показана принципова можливість отримання стиснення відбиваючих сегментів до субмікронних розмірів.