Вплив параметрів іонного осадження в імпульсному режимі на характеристики алмазоподібного покриття
Ключові слова:
алмазоподібне покриття, плазмово-іонне осадження, внутрішнє напруження, нелокальний термопружний пік іонаАнотація
Теоретично досліджується осадження алмазоподібного покриття в імпульсному режимі, у якому осаджуваний потік іонів плазмового середовища з енергією E0 ~ (20÷200) еВ модифікується шляхом накладання імпульсного потенцiалу U ≤ 1000 В. Показано, що внутрішні напруження в алмазоподібному покритті (АПП) при імпульсному режимі осадження можуть бути зменшені в кілька разів без істотного зменшення концентрації sp3-зв'язаного вуглецю, у порівнянні з АПП, отриманим в стаціонарному режимі осадження при енергії іонів E0. Запропоновано метод оптимізації параметрів імпульсного режиму, заснований на аналізі положення траєкторій термопружних піків іонів на фазовій P,T-діаграмі вуглецю.
Посилання
Robertson J. Diamond-like amorphous carbon // Materials Science and Engineering. – 2002.– Vol.R37. – P. 129-281.
Davis C.A. A simple model for the formation of compressive stress in thin films by ion bombardment // Thin Solid Films. – 1993. – Vol.226. – P. 30-34.
Robertson J. Deposition mechanisms for promoting sp3 bonding in diamondlike carbon // Diamond and Related Materials. – 1993. – Vol.2 – P. 984-989.
Калиниченко А.И., Стрельницкий В.Е. Роль термоупругих напряжений в формировании алмазоподобного покрытия при облучении аморфного углерода низкоэнергетическими ионами C+ // Физика и химия обработки материалов. – 2003. №2. С. 5-10.
Kalinichenko A.I., Perepelkin S.S., Strel’nitskij V.E. Dependence of intrinsic stress and structure of ta-C film on ion energy and substrate temperature in model of the non-local thermoelastic peak // Diamond & Related Materials. – 2010. – Vol.19. P. 996 998.
Sheeja D., Tay B.K., Yu L.J., Lau S.P., Sze J.Y., Cheong C.K. Effect of frequency and pulse width on the properties of ta:C films prepared by FCVA together with substrate pulse biasing // Thin Solid Films. 2002. – Vol.420 –421. – P. 62–69.
Zhang Y.B., Lau S.P., Sheeja D., Tay B.K. Study of mechanical properties and stress of tetrahedral amorphous carbon films prepared by pulse biasing // Surface & Coatings Technology. 2005. – Vol.195. – P. 338– 343.
Калиниченко А.И., Перепелкин С.С., Стрельницкий В.Е. Формирование напряжений сжатия в тонких пленках при ионном облучении // Вопросы атомной науки и техники. Серия: «Физика радиационных повреждений и радиационное материаловедение». – 2007. - № 6 - С.116-119.
Ziegler J.F., Biersack J.P., Littmark U. The Stopping and Range of Ions in Solids. - New York: Pergamon Press, 1996. - 297 p.
Kalinichenko A.I., Perepelkin S.S., Strel’nitskij V.E. Thermodynamic conditions of ta-C formation at implantation of noble-gas ions in carbon // Diamond and Related Materials. – 2006. – Vol.15. № 2-3. - P.365-370.
Завантаження
Опубліковано
Номер
Розділ
Ліцензія
Автори, які публікуються у цьому журналі, погоджуються з наступними умовами:
- Автори залишають за собою право на авторство своєї роботи та передають журналу право першої публікації цієї роботи на умовах ліцензії Creative Commons Attribution License, котра дозволяє іншим особам вільно розповсюджувати опубліковану роботу з обов'язковим посиланням на авторів оригінальної роботи та першу публікацію роботи у цьому журналі.
- Автори мають право укладати самостійні додаткові угоди щодо неексклюзивного розповсюдження роботи у тому вигляді, в якому вона була опублікована цим журналом (наприклад, розміщувати роботу в електронному сховищі установи або публікувати у складі монографії), за умови збереження посилання на першу публікацію роботи у цьому журналі.
- Політика журналу дозволяє і заохочує розміщення авторами в мережі Інтернет (наприклад, у сховищах установ або на особистих веб-сайтах) рукопису роботи, як до подання цього рукопису до редакції, так і під час його редакційного опрацювання, оскільки це сприяє виникненню продуктивної наукової дискусії та позитивно позначається на оперативності та динаміці цитування опублікованої роботи (див. The Effect of Open Access).
