Вплив режиму магнетронного розпилення та складу реакційного газу на структуру і властивості плівок ITO. ЖФІП [інтернет]. 08, Жовтень 2012 [цит. за 24, Жовтень 2026];10(4):342-9. доступний у: https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/10074