Іонна імплантація і перемішування іонних пучків при одночасному осадженні металу та іонній імплантації. ЖФІП [інтернет]. 28, Липень 2017 [цит. за 24, Жовтень 2026];11(4):406-11. доступний у: https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/8947