Магнетронне розпилення високотемпературної композиційної кераміки AlN-TiB2-TiSi2. ЖФІП [інтернет]. 21, Липень 2017 [цит. за 24, Жовтень 2026];11(3):299-303. доступний у: https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/8764