Структура, властивості та морфологія твердих наноструктурованих покриттів Ti-Si-N. ЖФІП [інтернет]. 21, Липень 2017 [цит. за 23, Жовтень 2026];11(3):263-9. доступний у: https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/8757