Порівняльний аналіз різних джерел плазми для цілей реактивного нанесення покриттів і дифузійного насичення металів. ЖФІП [інтернет]. 05, Липень 2017 [цит. за 14, Листопад 2026];12(2):285-98. доступний у: https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/8704