Применение порошковых катодов для осаждения Ti-Si-N покрытий из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы. ЖФІП [інтернет]. 04, Грудень 2015 [цит. за 14, Листопад 2026];13(2):148 – 163. доступний у: https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/4553