Іонно-плазмова система для реактивного магнетронного нанесення покриттів. ЖФІП [інтернет]. 22, Червень 2015 [цит. за 14, Листопад 2026];12(3):428-39. доступний у: https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/2863