Плівкові гнучкі ємнісні перетворювачі на основі структури ITO/поліімід/Al2O3. ЖФІП [інтернет]. 27, Квітень 2015 [цит. за 14, Листопад 2026];12(4):505-9. доступний у: https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/1479