«Технологічні особливості DC та RF магнетронного розпорошення». Журнал фізики та інженерії поверхні 3, no. 3 (Вересень 18, 2019): 89–99. дата звернення Жовтень 23, 2026. https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/14193.