[1]
«Іонна імплантація і перемішування іонних пучків при одночасному осадженні металу та іонній імплантації», ЖФІП, вип. 11, вип. 4, с. 406–411, Лип 2017, дата звернення: Жов 24, 2026. доступний у: https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/8947